蒸気洗浄装置
蒸気洗浄装置
エッチング後のポリマ除去ができる金属汚染のない「ASTE」をはじめ、「VALIUS」や、「BEUGA」などをご用意しています。
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ランニングコストを大幅ダウン！蒸気2流体洗浄ユニット
超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し洗浄！ランニングコストを大幅に低減します！
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蒸気洗浄装置『VALIUS（バリウス）』
レジスト・ペースト除去ができる太陽電池用の洗浄装置！超高速処理が可能
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蒸気洗浄装置『BEUGA（ビューガ）』
金リフトオフ工程で95％以上の回収率でコスト低減！LED用の洗浄装置
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蒸気洗浄装置『ASTE（アステ）』
金属汚染のない半導体用の洗浄装置！単式蒸気噴射音速ノズル搭載
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事例紹介（白金残渣洗浄）蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」
半導体工程での処理例を紹介！ 超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し洗浄！
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事例紹介（レジスト膜浸透）蒸気2流体洗浄ユニット SSCシリーズ
水のレジスト膜への浸透処理を公開中 超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し洗浄！
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事例紹介（ビアホール洗浄）蒸気2流体洗浄ユニット SSCシリーズ
ビアホールの洗浄比較資料公開中 超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し洗浄！
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事例紹介（接触角測定）蒸気2流体洗浄ユニット SSCシリーズ
ガラス表面の接触角測定の洗浄データ公開中 超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し洗浄！
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事例紹介（切削粉除去）蒸気2流体洗浄ユニット SSCシリーズ
太陽電池用シリコン基板の切削粉除去の洗浄データ公開中 超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し洗浄！
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水蒸気2流体洗浄と超音波・高圧洗浄の異物除去率の比較公開中
超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し洗浄する水蒸気2流体洗浄と超音波/高圧洗浄との除去率比較を公開中（有機EL）
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蒸気2流体洗浄モジュール『コアモジュール』※試験結果付き資料進呈
ハンディタイプ新登場！蒸気・液体をピンポイントで超音速噴射。2つの衝撃波で微細な異物を除去
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