蒸気洗浄装置『ASTE(アステ)』
金属汚染のない半導体用の洗浄装置!単式蒸気噴射音速ノズル搭載
基本情報
【基本構成】 ■金属汚染のない蒸気発生装置 ■単式蒸気噴射音速ノズル ■アルキメデス制御方式 ■EFEM(搬送系) ■制御系 ■ガス・水流量制御系 ■排気・排水系 【仕様】 ■チャンバ数:2チャンバ ■ウエハ口径:150,200mm対応 ■カセット数:2カセット ■用 力:DIW、N2、CDA ■蒸気圧力制御範囲:0.05-0.2MPa ■本体外形寸法:1100(W)× 1800(D)× 2000(H) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途/実績例
【対象アプリケーション】 ■エッチング後のポリマ除去 ■ウエハ上の異物除去(ブラシスクラバの置換え) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
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取り扱い会社
HUGパワー株式会社は、半導体で培った最先端洗浄技術をコアに産業用洗浄装置の開発・設計・販売を通して薬液使用量の削減、及び地球環境負荷の低減に貢献していきます。 これまで多くの方からの支援を受け、ようやく2009年から製品化の目途が立ち、量産ラインへの出荷が始まりました。現状は多くの有害な薬液を使用している洗浄工程を根本から変えたいという想いで、蒸気洗浄技術をメインに日々開発に力を注いでおります。