蒸気洗浄装置『BEUGA（ビューガ）』
金リフトオフ工程で95％以上の回収率でコスト低減！LED用の洗浄装置
基本情報
【基本構成】 ■蒸気発生装置 ■多連式蒸気噴射音速ノズル ■EFEM（搬送系） ■制御系 ■ガス・水流量制御系 ■排気・排水系 【仕様】 ■ウエハ口径：50-150mmΦ ■用 力：DIW、N2、CDA ■蒸気圧力制御範囲：0.05-0.2MPa ■本体外形寸法：1200（W）× 1500（D）×2200（H） ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【対象アプリケーション】 ■金リフトオフ ■レジスト剥離 ■WAX・オイル除去 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
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取り扱い会社
HUGパワー株式会社は、半導体で培った最先端洗浄技術をコアに産業用洗浄装置の開発・設計・販売を通して薬液使用量の削減、及び地球環境負荷の低減に貢献していきます。 これまで多くの方からの支援を受け、ようやく2009年から製品化の目途が立ち、量産ラインへの出荷が始まりました。現状は多くの有害な薬液を使用している洗浄工程を根本から変えたいという想いで、蒸気洗浄技術をメインに日々開発に力を注いでおります。
