長期安定性に優れ、生産の的確性を維持！信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います 『5850Eシリーズ』は、エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータです。 数十年に渡って、世界中の数千種類ものアプリケーションでアクティブに使用された実績を持つ本シリーズは、独自の安定した流量センサを備え、現代の要求の厳しい工業生産プロセスに必要な信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います。 【特長】 ■取り外し可能な流量センサ ■取付姿勢の影響なし ■他のマスフローコントローラとの機械的/電気的互換性 ■電動式バルブオーバーライド ■耐腐食バルブ

ブルックスエクスパートサポートツール『BEST(Brooks Enhanced Support Tool)』は、SLA58XXおよびSLAMfXXシリーズ専用の、高機能マスフローコントローラ、メータ、圧力コントローラを制御するWindowsベースのアプリケーションソフトウェアです。このツールを使用することにより、セットアップ、設定、診断、トラブルシューティング、バルブ調整、キャリブレーション（別途ライセンスキーが必要）を含む機能を利用することができます。 デバイスの上部にある診断ポートとお使いのコンピュータを、専用ケーブルで接続してアクセスします。仕様、ライセンスの要件、操作方法については、お問い合わせください。 対応する製品は下記ページをご確認ください。 https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/products/accessories-software/product-software/brooks-expert-support-tool ■現在公開中のバージョン V5.10.0.0、V5.12.0.0、V5.14.0.0

■ マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』 1台のデバイスで複数のガスに対応するので、プロセスの柔軟性と生産性が最大限に向上します。ブルックスインスツルメント独自の MultiFlo テクノロジーを搭載したGF40シリーズエラストマシールマスフローコントローラ/メータは、多様なガスを使用する、頻繁にガスの種類を変更する、またはガスの測定と制御精度は維持したまま、範囲を再調整する必要のあるシステム、プロセス、施設に最適です。これまでにない流量測定と制御性能を備え、プロセスの柔軟性を新たな次元に高めます。 ■ リードアウトユニット『0254』*RoHS指令準拠製品* 0250シリーズは電源供給とアナログ制御の機能に加えて、RS232シリアルポートを搭載したセカンダリエレクトロニクスです。このRoHS指令に準拠したデバイスは、非常にユーザーフレンドリーな操作性を持っており、多様なアプリケーションに簡単にインストールできるよう、取付方法のオプションが提供されています。最大4台のBrooksマスフローまたは圧力デバイスのための電力を供給します。

今、ご使用されているLegacyと呼ばれる古いマスフロ―の 修理や代替品の選定で、お困りではないですか？ この20年の間、市場では様々なメーカーのマスフロ―が販売され、それらの多くは今も現役で稼働しております。それらマスフロ―を取り扱っていたマスフローメーカーを、現在ブルックスインスツルメントが集約して、修理や代替品ご提案にて、全面的にサポートを実施していることをご存知ですか？ タイランジェネラル[Tylan General]、マイクロリス[Mykrolis]、インテグリス[Entegris]、ユニット[UNIT]、キネティックス[Kinetics]、セレリティー[Celerity]等、様々なメーカーが過去販売しておりましたマスフローのすべてのサポートを行っております。これは、今日の市場において、現役で活躍しているLegacyマスフロ―のほぼ8割にものぼります。 あるケースでは修理をそしてまたあるケースでは弊社のベストセラーマスフローであるGFシリーズへの置き換えをお客様のご要望にあわせてご提案しております。 Legacyマスフロ―の修理や代替品置き換えでお困りの際はご相談ください。

モデル VDM300 『超高清浄度のDI蒸気供給において最高流量精度を実現』 蒸気供給モジュール（VDM：Vapor Delivery Module）は、低温でも超高清浄な気化ガスを生成する電力効率の優れた設計が特長です。実証済みの蒸気供給技術を採用し、高度なデジタル制御と総合的な診断機能を備えています。 フラッシュ気化システムと比較して、優れた精度、大流量率、幅広い制御範囲、低電力消費を実現します。実証済みのサーマル式マスフロー測定技術を基にしており、非過熱状態でも蒸気を生成し、純水による影響を排除するため、高い信頼性と清浄度の高い製造が行えます。独立したサービスポートと直観的なGUI（グラフィックユーザーインターフェース）により、ユーザーフレンドリーなデータロギングと診断機能を提供します。 用途 ■ シリコン半導体の金属エッチング後プロセス ■ シリコン半導体メタルストリッププロセス ■ 低大気圧環境における超高清浄度加湿

ここで取り上げる触媒の研究例はハーバー・ボッシュ法であり、肥料用のアンモニアを工業規模で生産するものです。 ハーバー・ボッシュ法とは、高温高圧下で金属触媒を使って窒素と水素を反応させてアンモニアを生産します。触媒の研究は常に進歩しており、現在ではさまざまな触媒が見つかっています。 ハーバー・ボッシュ法では当初、触媒としてオスミウムを使用していました。現在は、触媒に鉄鉱石が使用されています。 触媒の研究はパイロット・プラントで展開されます。パイロット・プラントは、反応、材料特性、プロセスの歩留まりなどについて貴重な初期段階の科学的データを提供することで、大規模なプロセス・プラントに関連する技術的・商業的リスクを軽減します。この研究では圧力、温度、流量、反応時間など、すべてのパラメーターをモニターしながら実験が行われます。 続きはこちら https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/blog/mass-flow-controllers-enable-catalyst-research

モデル SLAMf50 / SLAMf51 / SLAMf53 / SLAMf60 / SLAMf61 / SLAMf63 / SLAMf64 『厳しい環境にも対応する耐久性！優れた精度を実現する精密マスフローコントロール』 屋内や屋外を問わず、粉塵の雰囲気がある設置環境や水を扱うような場所では、『SLAMfシリーズ』エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータなら、実証済みの「SLA5800ファミリー」ならではの高い精度と長期安定性を実現します。 用途 ■ 石油化学および化学ガスのパイロットプラント ■ ライフサイエンスバイオリアクタ ■ 食品加工におけるブランケティング

近年、高圧ガスを用いたプロセスが盛んになってきており、マスフローコントローラー・メーターの高圧ガス保安法対応に対するニーズが高まってまいりました。当社では2018年以降サーマルマスフローコントローラー（SLA5850）の高圧ガス設備試験(KHK認証)合格品を化学・石油化学業界を中心にご提供させて頂き納入実績を重ねてまいりました。 このたび、マスフローコントローラの設計圧力をボンベ圧でも使用可能な20MPaまで広げたことで今まで以上に豊富なアプリケーションに適用できるようになりました。 KHK認定品とは 高圧ガス保安協会(KHK) による高圧ガス設備試験に合格した製品で、高圧ガス設備試験成績証明書が添付されます。 KHK認定品のメリット 高圧ガス設備は都道府県知事(または市町村長)への許可申請・検査申請・届出等の行政手続きが必要です。 この行政手続きには必要書類の準備と設備試験などの煩雑な手続きが必要ですが、KHKが発行した高圧ガス設備試験成績証明書を提出するだけで行政手続きが完了します。

H2 & FC EXPO 水素燃料電池展（SMART ENERGY WEEK 春）出展に 合わせてご紹介しましたパネル資料です。 ■ 新製品(コリオリ式マスフローと高温用マスフロー) こちらよりご覧ください。 https://www.ipros.jp/catalog/detail/752705 関連カタログからもご覧いただけます。

GP200シリーズは、半導体用途専用に設計された、初めての完全圧力非感応型PMFCです。GP200の独自の差圧技術と最先端のセンサー・バルブ構成により、従来の圧力ベースのマスフローコントローラの限界を取り除き、業界で最も広範囲かつ正確なプロセスガスコントロールを可能にします。 Brooksは世界で初めてガス種と流量範囲の再設定が可能なMFCを開発し、リリース以降もガスモデルを刷新し続けており、同じ機能がGP200にも組み込まれています。多くのガス種と幅広い流量範囲への再設定を容易に行うことができ、幅広いプロセスに柔軟に対応します。 GP200の超高速で再現性の高いバルブコントロールと圧力変動耐性により、極端に供給圧力が変動した場合でも、チャンバーへの精密な流量制御を維持し、よりタイトなプロセス制御を可能にします。GP200プラットフォームは幅広いプロセス条件をサポートし、従来の圧力ベースのマスフローコントローラの多くを交換または、アップグレードすることが可能です。

モデル SLA5850/SLA5851/SLA5853/SLA5860/SLA5861/SLA5863 『1台あれば、14種類の圧力や流量レートを1つのプロセスで使用できる。』 そんなマスフローコントローラプラットフォームを想像してみてください。しかも、優れた再現性、精密度、繰り返し出力を備えています。これがSLA5800シリーズマスフローコントローラ/メータの進化したシンプル性能です。 SLA5800シリーズは、マスフロー測定と制御テクノロジーで業界をリードするブルックスインスツルメントならではの高い精度、ゼロ点安定性、繰り返し性を備えています。設定可能な高度なマルチガス/マルチレンジ機能を搭載し、競合製品と比較して優れたゼロドリフト仕様を提供すると同時に、出荷時キャリブレーションと精度を長期的に維持することが実証されています。

GF40シリーズは、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したマスフローコントローラ/メータです。本機能はご購入時のガス種やフルスケールは専用のソフトウェアであるブルックスエキスパートサポートツール(BEST)を使用することで数千パターンの異なる仕様への設定変更が可能です。 SLA5800シリーズは、微少流量（3sccm）から大流量（2500slpm）まで安定した流量制御をご提供することが可能なモデルです。弊社専用ソフト (BEST:Brooks Expert Support Tool) を使用いただくことによりお客様のプロセスにあったPID定数の変更や各種データをモニタリング（アラーム・バルブ開度等）することが可能です。 これらのデータはトラブルシューティングにも活用することが可能であり装置のダウンタイムの削減に貢献可能です。 ★ SLA5800シリーズ/ GF40と専用ソフトウェアの接続には有償の専用ケーブルが必要です。ブルックスエキスパートサポートツール(BEST)は、一部の機能を除いて無償でお使いいただけます。

モデル 5700 『ターゲット化されたアプリケーション向けのコスト効率の高いガス流量測定』 温度や圧力調整が必要なく、長期的に安定した流量測定を行うコンパクトで経済的なマスフローメータが必要なら、5700シリーズのサーマル式マスメータをお選びください。パージガス、プロセス解析、解析フロー測定のニーズを想定して作られており、タービンメータ、面積式流量計、その他の体積流量計に代わる電子出力信号を備え、コスト効率と安定性に優れています。 用途 ■ パージガス測定 ■ ガスおよび湿度分析器 ■ パーティクルモニタ ■ 医療/麻酔用酸素システム ■ 曝気/発泡システム

GF40シリーズは、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したマスフロー コントローラ/メータです。本機能はご購入時のガス種やフルスケールを MultiFlo(TM)コンフィギュレータ（専用のソフトウェア）を使用すること で数千パターンの異なる仕様への設定変更が可能です。変更可能なガス種 とレンジはFloComデータベースを参照ください。 ▽FloComデータベース（xls形式ファイル） https://cdn.brooksinstrument.com/-/media/brooks/documentation/products/accessories-and-software/software/multiflo-configurator/flocom-database-db220418---gf40-gas-listing.xls 100種類以上の実ガスデータを搭載した高精度なGF40シリーズを、 ユーザー様のご用途に合わせてカスタマイズをしてご活用下さいませ。

ホットメルトエクストルージョン（HME）は、熱と圧力を加えてポリマーを溶かし、連続プロセスで型に押し出す方法です。HMEはプラスチック産業で広く応用されており、最近では医薬品の剤形やドラッグデリバリーシステムに使用されています。 HMEプロセスは、医薬品の有効成分 (API) をポリマーおよびその他の賦形剤と高温高圧で混合するために使用されます。押し出された材料は、カプセルへの充填や、錠剤への圧縮のために、マイクロペレットに切断または粉砕することができます。 ハイライト: 超臨界CO2の質量流量の測定と制御 低温（-30℃以下）でも正確な流量を実現 プロセスソリューション: Brooks InstrumentのQuantimコリオリ式マスフロー流体の計測と制御の信頼性が高いため、このマスフローを用いたシステムでは、ポンプの動作速度ではなく、実際に注入する液体CO2の質量流量を測定し、制御することが可能となりました。HMEプロセスのように、CO2が臨界温度と臨界圧力以上に保たれている場合、それは超臨界状態となります。

抗体医薬品やワクチンを含む、バイオ医薬品の原薬製造工程において、ウイルスや細胞などを培養しスケールアップすることが目的となり、対象のウイルス・細胞などの生物が生きやすい環境を整えることが必要になります。そして、pH値や溶存酸素濃度をモニタしながら、空気、酸素、窒素、二酸化炭素の流量をMFCでコントロールすることで、最適な培養環境を維持できます。 弊社マスフローコントローラ（MFC）は、極低流量（3ssm）から大流量（2500slm）までの充実したラインナップにより、研究開発から量産設備まで国内外の多くの培養設備で実績を有しております。また、新製品であるバイオオプション仕様のMFCでは、従来のレンジアビリティ（フルスケールの2~100%）に対して、3~5倍のレンジ比を実現し、1台のMFCでより低流量の流量制御が可能となりました。 また、医薬・製薬業界で要求されるFDA/USP Class VI対応のエラストマー材料を使用することも可能です。

最先端半導体プロセスのための最新型圧力ベースマスフロー GP200シリーズは、従来の圧力センサーに代えて差圧センサーを採用し、コントロールバルブをセンサーの下流に配置することで、従来の圧力ベースMFCに比べて格段に流量計測の精度と再現性が向上しています。 ＊ 1センサーで差圧を測定する事により. 流量精度再現性が飛躍的に向上します。 ＊ 幅広い圧力、ガス種、プロセスに対応します。 ＊ 最先端のバルブアーキテクチャーにより、 より正確で再現性の高い流量制御と応答性を実現します。 ＊ ゼロリークバルブにより、「ファーストウェハ効果」を排除します。

2019年7月よりBrooks汎用マスフローコントローラ製品群に、バイオプロセス専用マスフローコントローラが加わりました。今回は本製品と特徴的なメリットをご紹介いたします。 １．ガス種毎に必要であったMFC予備品が1台で賄えます。 ２．１：２５０の制御レンジにより高精度・高精密な流量コントロールが 　　可能になり、MFC台数を削減できます。 ３．バイオリアクターニーズにおいて、ベンチトップタイプから 　　大型ステンレス槽まで幅広く対応。シングルユース／マルチユース 　　共に豊富な採用実績がございます。 より詳しい製品の仕様及び採用事例、メリット等については ぜひお問い合わせください。流量制御とバイオリアクターに精通した 担当者がご案内させていただきます。

2019年7月よりBrooks汎用マスフローコントローラ製品群に、バイオプロセス専用マスフローコントローラが加わりました。 バイオプロセス専用に設計及び製造されたマスフローコントローラ ・大多数の一般産業（バイオプロセス含む）向けに実績がある 　SLAシリーズをベースとした特別製品 ・お客様のニーズを最適化する２つオプションパッケージにて展開 ・小流量から大流量まで幅広い流量コントロールに対応可能 　＝小容量から大容量バイオ槽に対応可能 お客様の要求に対して柔軟に対応 製品の特長 ＊メンテナンスコスト、導入コストの削減化 ＊製造リスクの低減化 ＊品質管理の強化 ２つのオプションパッケージ製品のご提案 １．パフォーマンスオプションパッケージ（多くのバイオプロセスに対応した専用マスフローコントローラ製品） ２．プレミアムオプションパッケージ（より厳格な要求事項に対応した専用マスフローコントローラ製品）

BROOKSは、コロナウイルスと戦う医療機器関連のお客様が必要とする装置の一つであるマスフローコントローラを迅速提供することに誇りを懸けて対応しております。 現在のような危機的状況下では、私たちは「何が重要であるか」に焦点を合わせ続ける必要があります。 ブルックスインスツルメントと例えばMaxtec社の様な救命用呼吸器関連医療機器メーカーとの関係は、コロナウイルスパンデミックの真っ只中において、かつてないほど重要になっています。私たちはMaxtec社をはじめとする、医療機器メーカーに対する世界中の医療関係者からの製品に対する需要増大に対応できるよう準備をしております。

1:250のターンダウンによりフルスケールの0.4%まで流量コントロールできるマスフローコントローラ(MFC)の導入により、従来2台必要であったMFCが1台で完結するシステム構築が可能になります。 EtherNet/IP およびPROFINET プロトコルを搭載したSLAシリーズは、高度な診断ツールとともに、これらの大型パッケージに簡単に含めることができます。より古いPLCおよびDCSシステムは、お客様が重要なプロセス関連の決定を監視し、行うために、流量およびセットポイント(PV)を提供します。ブルックスインスツルメントの高度な診断は、リアルタイムでモニターできる多くの予測、トレンド分析、信頼性駆動のパラメータ・ソリューションを提供しております。 MFCへのチョークフロー、バックスチーミング、キャリブレーションの経時変化、総流量は、いずれも監視可能な貴重なパラメータの一例です。これらのプロトコルを実施することで、Siemens、Delta-V、Rockwell Automation PLCシステムの起動とアクセスを迅速に行うことができます。

ブルックスインスツルメントは、右の「Brooks MFCの系譜図」中の、タイランジェネラル（Tylan General）、マイクロリス（Mykrolis）、インテグリス（Entegris）、ユニット（UNIT）、キネティックス（Kinetics）、セレリティー（Celerity）等、様々なメーカーが過去販売しておりましたマスフローのすべてのサポートを行っております。その数は市場のLegacyマスフロ―全体のおよそ8割にものぼります。 お客様のご要望に従い、あるケースでは修理を、そしてまたあるケースでは弊社のベストセラーマスフローである GF120やGF125 への置き換えを、ご提案させていただいております。既にこれらLegacyからのGFシリーズへの置き換え実績は2万台を超えております。 「Brooks MFCの系譜図」で登場しましたLegacyマスフロ―ほぼ全機種からの置き換えが可能です。 Legacyマスフロ―の修理や代替品置き換えでお困りの際はぜひ弊社営業部に一度ご相談ください。

最新のサポートソフトウェアはBEST(Brooks Enhanced Support Tool)で、この度最新バージョンの5.4.0.0をリリースいたしました。 基準器との流量の合わせ込み（校正）などの一部の機能のライセンスと、接続ケーブルは有償にてご提供しております。 まだブルックスのサポートソフトウェアをお使いでないお客様は、この機会にBESTのご使用をご検討下さい。サポートソフトウェアを使うことによって、マスフロー単体では不可能な様々な機能と利点をご提供しています。 ■マスフローの調整：ゼロ点、バルブ応答性の調整(PID調整) ■設定の変更：アラームの設定、入出力の設定 ■コントロールとモニタ：マスフローの設定ファイルの保存と復帰 ■各種診断機能：本体のLEDの点滅だけではわからない 　各種のエラー情報の確認 ■簡易操作：ソフトウェアからの流量、バルブ開度の制御 ■有料オプション機能：基準器との流量の合わせ込み（校正）、 　ターミナルコマンドのサポート 仕様、ライセンスの要件、操作方法については、お問い合わせください。

GT1600シリーズガラス管面積流量計は、プロセス流量確認が重要な工程において低流量および高流量のガスおよび液体アプリケーションにおいて、長期間のご使用に耐える性能と頑丈な筐体と設計を備えた新しいメーターファミリーです。 多用途でコストパフォーマンスに優れた流量計は、中程度の計量精度が要求される用途で一般的に使用されています。 ■選択されたモデルに応じて、通常の精度範囲は 　1％から10％のフルスケールです。 ■パージタイプのサービス、シールオイルシステム、 　ベアリングの潤滑および冷却水の表示に最適です。 GT1600シリーズの流量計は、既存のBrooks Instrument GT1000、GT1300、およびFull-View(R)1100シリーズのメーター（モデル1110、1114、1140、1144）の置換え・更新できるよう仕様構成できます。