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デバイス1台でさまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現しました！

【その他の特長】 ■ツールの通信系から独立した、アクセスしやすい診断サービスポートを搭載 　Brooks Expert Support Tool と MultiFlo Configurator の2種類の弊社専用ソフトウェアに対応 ■耐腐食性センサにより、最大級の稼働率とスループットを保証するセンサの長期安定性を提供 ■DeviceNet、EtherCAT、Profibus、RS-485/アナログインターフェースなど、 　豊富な通信オプション ■ユーザー様の所有するガス種と流量レンジが固定されたMFC/MFMの予備品や在庫の削減 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

応答速度および繰り返し性に優れたガス流量コントロール用アプリケーション

【メリット】 ■半導体業界の標準に合わせた連続テストを実行した高性能部品 ■パージ時におけるドライダウン時間を短縮 ■新しいプロセスガスおよび/またはレンジを60秒以下で設定可能 ■ブランドを含むメタルシールMFCの不意の置き換えやアップグレードにも対応 ■便利なユーザー表示と独立した診断/サービスポート　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

すべてを可能にするMFC

【メリット】 ■半導体業界の標準に合わせた連続テストを実行した高性能部品 ■パージ時におけるドライダウン時間を短縮 ■新しいプロセスガスおよび/またはレンジを60秒以下で設定可能 ■ブランドを含むメタルシールMFCの不意の置き換えやアップグレードにも対応 ■便利なユーザー表示と独立した診断/サービスポート　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

最高の性能を最大限に引き出す！先駆的な半導体プロセスのための最新型圧力ベースマスフロー

※詳しくはお問合せください。

高圧ガス保安協会（KHK）の認証取得。都道府県の完成検査の手続きを簡略化。国内防爆（JPEx）の型式検定合格証も取得

＜KHK認証取得品のメリット＞ 高圧ガス設備は都道府県知事(または市町村長)への許可申請・検査申請・届出等の行政手続きが必要です。 この行政手続きには必要書類の準備と設備試験などの煩雑な手続きが必要ですが、 KHKが発行した高圧ガス設備試験成績証明書を提出するだけで行政手続きが完了します。

第3世代の新しいQuantim QMC コリオリ式流量計は、微少流量の気体や液体の測定と制御のアプリケーションに最適です

【その他の特長】 ■プロセスの組成や条件を変更しても、その度に測定システムを変更したり、再校正したりする必要はありません。 ■オールステンレス製のQuantim QMCは 幅広いプロセス流体に適しています。 ■2.5mmジャックプラグからQMC本体へアクセス可能なサービスポートを搭載しており、無償でダウンロード可能なブルックスエキスパートサポートツール（BEST）ソフトウェアと組み合わせることで、プロセスのモニタリングと予知保全を強化するための内蔵アラームや診断機能を使うことができます。これらの機能は設置場所へのインストールを簡素化するだけでなく、トラブルシューティングや校正もサポートしています。 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

超高清浄度のDI蒸気供給において最高流量精度を実現

【特長】 ■流量レンジ：3 slpm(DIW蒸気) ■優れた流量精度を実現する直接水蒸気測定 ■プラント内純水供給装置に直接接続 ■最低温度（非過熱状態）でも動作可能 ■水洗および排水用に最適な設計 ■EtherCATデジタルコミュニケーション ■Brooks Expert Support Tool (BEST)グラフィカルインターフェース ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。