2022年12月21日
ITWジャパン株式会社
日本工業出版「計測技術12月号」にて新製品であるMEMSピラニ―真空計VersaTorrシリーズの製品概要と先端半導体プロセスにおける応用例を紹介しています。
薄膜、コーティング、表面処理は、幅広い産業とアプリケーションをカバーしています!
【ラインアップ】 ■気体・液体用マスフローコントローラ ・SLA5800シリーズ IP40-汎用マスフロー ・GF40 シリーズ コンパクトマスフロー ・GF100 シリーズ 高純度マスフロー ・Quantim コリオリマスフロー ■真空・圧力計測と制御 ・XacTorr シリーズ キャパシタンスマノメータ ・VersaTorr シリーズ ピラニ真空トランスデューサ ・SolidSense II プレッシャートランスデューサ ・SLA シリーズ プレッシャーコントローラ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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