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MultiFlo(TM) コンフィギュレータのマニュアルを改訂

ITWジャパン株式会社

弊社の基幹マスフローコントローラ(以下MFC)である、GF125シリーズに用いるMultiFloコンフィギュレータのマニュアルを改訂いたしました。大きな改定は、MFCとパソコンとの通信に用いるケーブルのタイプが変更になったものです。 ■ Brooks MultiFloコンフィギュレータとは Windowsオペレーティングシステム向けのMultiFloコンフィギュレータソフトウェアでは、GF100シリーズ、GF40シリーズ、GF80シリーズ、Celerity/Unitブランドのマスフロータコントローラをガスラインから取り外さず、簡単・素早く、ガスとレンジを再設定することができます。MultiFloテクノロジーは、ブルックスインスツルメントによって特許取得された技術です。プロセスエンジニアに独自のリソースを提供します。 使いやすいMultiFloコンフィギュレータアプリケーションは、市場で最も総合的なガスデータベースを備え、プロセスガスの精度を向上することにより、幅広い用途でMultiFlo対応MFCを使用することができます。