株式会社イワキ 公式サイト

低脈動移送が可能で付加追従性が向上！エアー消費量を最大30%削減

【FLP-60W概略仕様】 ●最大吐出量：50 L/min（供給エアー圧力0.1MPa・清水20℃） ●使用液温度範囲：5〜180℃ ●供給エアー圧力範囲：0.3〜0.5 MPa ●最大エアー消費量：464 NL/min ●主要材質：PTFE、PFA 【FLP-75W概略仕様】 ●最大吐出量：92 L/min（供給エアー圧力0.3MPa・清水25℃） ●使用液温度範囲：5〜180℃ ●供給エアー圧力範囲：0.3〜0.5 MPa ●最大エアー消費量：647 NL/min ●主要材質：PTFE、PFA ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問合せください。

高速ストローク化で小型・軽量・ローコスト化を実現

【概略仕様】 ●最大吐出量：55 L/min（清水20℃） ●使用液温度範囲：5〜180℃ ●供給エアー圧力範囲：0.15〜0.5 MPa ●最大エアー消費量：670 NL/min ●主要材質：PTFE、PFA ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問合せください。

金属タイプと樹脂タイプを合わせて100を超えるラインアップで、製造プロセスから機器搭載まで幅広く対応します。

【概略仕様】 金属タイプ　『スラリー液・高粘度液・溶剤などの搬送・圧送に最適』 ●最大吐出量範囲：11.5〜950 L/min ●主要材質：ADC12、AC4C（アルミ）、SCS14（SUS316相当） ●液温範囲：0〜100℃ ●粘性液：8000 mPa·s 樹脂タイプ　『強酸・強アルカリ、腐食性の強い薬液を搬送・循環』 ●最大吐出量範囲：11.5〜820 L/min ●主要材質：PP、GFRPP、CFPVDF ●液温範囲：0〜60℃ ●粘性液：8000 mPa·s フッ素樹脂タイプ　『半導体プロセス専用。洗浄液・CMPスラリー液などの搬送・循環に』 ●最大吐出量範囲：11〜150 L/min ●主要材質：PTFE（ダイヤフラム、ボールバルブ、バルブシート） ●液温範囲：0〜80℃ ●粘性液：2500 mPa·s ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

独自開発による超高効率リニアドライブを実現 優れた定量性と送液精度で幅広い用途に対応

【概略仕様　50/60Hz】 ■型式：LR-T1SRRSF1J・LR-T1SRSSF1J ■流量範囲：0.01〜100mL/min注 ■最大吐出圧力：1.0MPa ■接続口径：R1/8 ■バルブ材質：ルビー、サファイア・SUS316、SUS316L ■定格電流値：2.5A ■電源電圧：AC100〜240V 50/60Hz 単相 ■質量：2.7kg • 仕様は定格電圧、常温、純水（脱気後）時の性能です。 • 液温範囲：0〜60℃（凍結なきこと） • 周囲温度：0〜45℃ • 耐環境性：IP64相当 • 騒音値：40dB以下（脈動運転時は45dB以下） • ポンプ部やホース内にエアーが溜まっていると十分な精度が出せません。初めてポンプを運転するときや、保守・点検の後には必ずエアー抜きを行ってください。 注：選定したバルブモジュールによってCV値仕様範囲が異なります。詳しくはお問合わせください。

磁気でインペラを浮上させ、非接触回転で摩耗を防止。長寿命化とクリーンな送液を実現

【概略仕様　50/60Hz】 ●最大吐出量：92/108 L/min ●最高揚程：6.0/8.5 m ●主要材質：GFRPP ●消費電力：245/365 W ●電源：AC100 V、三相200 V ●液温範囲：0～85℃（液質により異なります） ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

1shot当り1mL、分注性能が大幅に向上。ウエハー洗浄液の濃度管理に最適です。

【概略仕様】 ●最大吐出量：1mL/shot（CFD-1T-B）・8mL/shot（CFD-8T-B） ●使用液温度範囲：20〜60℃ ●供給エアー圧力範囲：０.15～0.3 MPa ●最大エアー消費量：2.5NL/min（CFD-1T-B）・5.4NL/min（CFD-8T-B） ●最大ストローク数：30spm ●主要材質：PTFE、PFA、PCTFE ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問合せください。

再現性±0.3%（F.S.）以下、大幅な省レジストを実現

PDS-105R 【概略仕様　50/60Hz】 ■最大吐出量：5.0 mL/shot ■吐出速度：0.1〜4.0 mL/sec ■吸込速度：0.1〜3.0 mL/sec ■最高吐出圧力：0.15MPa ■最大移送液粘度：200mPa·s PDS-H115 【概略仕様　50/60Hz】 ●最大吐出量：12.0 mL/shot ●吐出速度：0.5〜2.0 mL/sec ●吸込速度：0.3〜2.0 mL/sec ●最高吐出圧力：1.0 MPa ●最大移送液粘度：10,000 mPa·s