レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置
レビュー用顕微鏡搭載！検出した欠陥を顕微鏡でリアルタイムに観察可能です
高出力レーザーを回転ステージ上のウェハに照射することで、 高速に全面を検査し、微小欠陥を検出します。 散乱、反射、位相シフトなど複数チャンネルの組合せによって 用途に適した欠陥検出ができ、凹凸など欠陥種ごとに弁別します。 ■装置の特長 ・高速検査（約181秒/12inch） ・レビュー用顕微鏡を搭載 ・顕微鏡はレーザー顕微鏡/微分干渉顕微鏡のどちらか選択可能 ・SEM等での分析用に顕微鏡を利用した高精度なケガキが可能 ・オプションでエッジ検査機能の搭載が可能
基本情報
【検出】 方 式： レーザー散乱方式および正反射方式 検出サイズ： PSL50nm相当の欠陥 【レビュー機能】 顕 微 鏡： レーザー顕微鏡(レーザー共焦点・白色干渉) or 微分干渉顕微鏡 【対象基板】 種 類： 透明体を含む各種基板 サ イ ズ： ２～１２inch、形状など別途相談に応じます 【装置サイズ】 外形寸法 ： W1,800 x D2,100 x H1,985 (mm) 質 量： 約1200kg
価格情報
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納期
型番・ブランド名
K-LE-G200
用途／実績例
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