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レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置

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レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置

レビュー用顕微鏡搭載！検出した欠陥を顕微鏡でリアルタイムに観察可能です

高出力レーザーを回転ステージ上のウェハに照射することで、 高速に全面を検査し、微小欠陥を検出します。 散乱、反射、位相シフトなど複数チャンネルの組合せによって 用途に適した欠陥検出ができ、凹凸など欠陥種ごとに弁別します。 ■装置の特長 ・高速検査（約181秒/12inch） ・レビュー用顕微鏡を搭載 ・顕微鏡はレーザー顕微鏡/微分干渉顕微鏡のどちらか選択可能 ・SEM等での分析用に顕微鏡を利用した高精度なケガキが可能 ・オプションでエッジ検査機能の搭載が可能

関連リンク - https://scale.kubota.co.jp/product_category/%e8%a8…

基本情報

【検出】 方　　　式：　レーザー散乱方式および正反射方式 検出サイズ：　PSL50nm相当の欠陥 【レビュー機能】 顕　微　鏡：　レーザー顕微鏡(レーザー共焦点・白色干渉) or 微分干渉顕微鏡 【対象基板】 種　　　類：　透明体を含む各種基板 サ　イ　ズ：　２～１２inch、形状など別途相談に応じます 【装置サイズ】 外形寸法　：　W1,800 x D2,100 x H1,985 (mm) 質　　　量：　約1200kg

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K-LE-G200

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レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置（レーザー式）_K-LE-G200

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電装機器事業部は、ハイテク技術をベースに、各種計量・計測機器や制御システムなど加速する技術開発の波にフレキシブルに対応しながら、ユニークな高付加価値製品を通じて情報機器・システム事業をめざしています。 その中でもはかり事業は、センサ技術、デジタル技術を駆使した各種計量・計測機器をはじめ、データ処理や異物検出など生産から出荷まで、多岐にわたるお客様の用途に応じ、「計測」を提供し続けています。

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