ウェハ表面欠陥検査装置（レーザー式）

高出力レーザーで微小欠陥を検出！

最終更新日 2024年10月23日

ウェハ表面欠陥検査装置（画像式）

透明素材にも対応する高精度検査装置

最終更新日 2024年10月23日

ウェハ外観検査装置（画像式）

ウェハの欠陥目視検査を自動化を実現

最終更新日 2024年10月23日

レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置

レビュー用顕微鏡搭載！検出した欠陥を顕微鏡でリアルタイムに観察可能です

最終更新日 2024年10月23日