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ウェハ外観検査装置（画像式）

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ウェハ外観検査装置（画像式）

ウェハの欠陥目視検査を自動化を実現

■以下のご要望・お困りごとにお応えする装置です！ ・ウェハ（基板）の欠陥目視検査を自動化したい。 ・検査員ごとの合否判定ばらつき低減、防止したい。 ・検査データの保存、品質のトレースを行いたい。 ・自動で欠陥弁別したい。 ■装置の特長 ・目視可能な欠陥を自動で検出、抽出、弁別できます。 ・欠陥種類に合わせて最適化した光学系の提案が可能です。 ・手動機/自動搬送(カセットtoカセット）とも提案可能です。 ・AI機能も実装しており、学習を進めることで 欠陥弁別精度向上が可能です。

関連リンク - https://scale.kubota.co.jp/product_category/%e8%a8…

基本情報

【検出可能な最小欠陥】 　30um 【対象形状】 　円形：直径200mm以下 　矩形：140mm□以下 　※上記以上のサイズを測定されたい場合、ご相談ください。 【検査時間】 　100PPH

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電装機器事業部は、ハイテク技術をベースに、各種計量・計測機器や制御システムなど加速する技術開発の波にフレキシブルに対応しながら、ユニークな高付加価値製品を通じて情報機器・システム事業をめざしています。 その中でもはかり事業は、センサ技術、デジタル技術を駆使した各種計量・計測機器をはじめ、データ処理や異物検出など生産から出荷まで、多岐にわたるお客様の用途に応じ、「計測」を提供し続けています。

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