ウェハ外観検査装置（自動目視検査装置）
ウェハの欠陥目視検査を自動化を実現
■以下のご要望・お困りごとにお応えする装置です！ ・ウェハ（基板）の欠陥目視検査を自動化したい。 ・検査員ごとの合否判定ばらつき低減、防止したい。 ・検査データの保存、品質のトレースを行いたい。 ・自動で欠陥弁別したい。 ■装置の特長 ・目視可能な欠陥を自動で検出、抽出、弁別できます。 ・欠陥種類に合わせて最適化した光学系の提案が可能です。 ・手動機/自動搬送(カセットtoカセット）とも提案可能です。 ・AI機能も実装しており、学習を進めることで 欠陥弁別精度向上が可能です。
基本情報
【検出可能な最小欠陥】 30um 【対象形状】 円形：直径200mm以下 矩形：140mm□以下 ※上記以上のサイズを測定されたい場合、ご相談ください。 【検査時間】 100PPH
価格情報
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納期
型番・ブランド名
K-VI-G100
用途／実績例
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