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ウェハ表面欠陥検査装置（画像式）

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ウェハ表面欠陥検査装置（画像式）

透明素材にも対応する高精度検査装置

微分干渉顕微鏡を搭載した表面欠陥検査装置で 透明体材料にも適用しております。 全面検査による欠陥マップ出力や検出した欠陥の 顕微鏡観察が可能な装置です。 ■装置の特長 ・独自の画像処理技術による欠陥抽出・弁別機能 ・欠陥を観察しながら高精度なケガキが可能 ・他装置で検査したウェハに対し、欠陥座標を元に 　観察、欠陥アルバムの作成が可能。 ・結晶欠陥の検出機能を開発中

関連リンク - https://scale.kubota.co.jp/product_category/%e8%a8…

基本情報

【検出】 方　　　式：　微分干渉顕微鏡を用いた画像解析方式 検出サイズ：　0.3um（対物レンズ10倍使用時） 【対象基板】 種　　　類：　透明体を含む各種基板 サ　イ　ズ：　4inch 、6inch、8inch、別途相談に応じます 【装置サイズ】 外形寸法　：　W1,700 x D1,000 x H1,935 (mm) 質　　　量：　約800kg

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K-IM-G100

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電装機器事業部は、ハイテク技術をベースに、各種計量・計測機器や制御システムなど加速する技術開発の波にフレキシブルに対応しながら、ユニークな高付加価値製品を通じて情報機器・システム事業をめざしています。 その中でもはかり事業は、センサ技術、デジタル技術を駆使した各種計量・計測機器をはじめ、データ処理や異物検出など生産から出荷まで、多岐にわたるお客様の用途に応じ、「計測」を提供し続けています。

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