顕微鏡式ウェハ表面欠陥検査装置
透明素材にも対応する高精度検査装置
微分干渉顕微鏡を搭載した表面欠陥検査装置で 透明体材料にも適用しております。 全面検査による欠陥マップ出力や検出した欠陥の 顕微鏡観察が可能な装置です。 ■装置の特長 ・独自の画像処理技術による欠陥抽出・弁別機能 ・欠陥を観察しながら高精度なケガキが可能 ・他装置で検査したウェハに対し、欠陥座標を元に 観察、欠陥アルバムの作成が可能。 ・結晶欠陥の検出機能を開発中
基本情報
【検出】 方 式： 微分干渉顕微鏡を用いた画像解析方式 検出サイズ： 0.3um（対物レンズ10倍使用時） 【対象基板】 種 類： 透明体を含む各種基板 サ イ ズ： 4inch 、6inch、8inch、別途相談に応じます 【装置サイズ】 外形寸法 ： W1,700 x D1,000 x H1,935 (mm) 質 量： 約800kg
価格情報
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納期
型番・ブランド名
K-IM-G100
用途／実績例
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