【プロセス分析計 技術資料】ウエハ用洗浄槽の自動モニタリング
ウエハ用洗浄槽の水酸化アンモニウム、過酸化水素、塩酸の同時分析をインライン近赤外分析計でモニタリング！
半導体メーカーではクリーンルーム内のウェットベンチで標準的な洗浄工程を行い、環境を管理し、さらなる汚染を防いでいます。しかし、このような環境では分析装置を設置するためのスペースが非常に限定的であることが一般的です。 試薬を使わず、より安全で効率的、かつ迅速に洗浄液の主要パラメータを同時にモニタリングするには近赤外分光法（NIRS）によるインライン分析が有効です。 オンライン分析計 プロセス分析計 インライン分析計
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インライン近赤外分析計
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スイス・ヘリザウに本社を置くメトローム社は、70年以上にわたりイオン分析を中心とした分析機器の開発・製造を行うリーディングカンパニーです。イオンクロマトグラフィー、電位差滴定、カールフィッシャー水分測定、ラマン分光分析など、高精度な測定技術を核とした幅広い製品群を、世界140か国以上のお客様へお届けしています。日本法人であるメトロームジャパン株式会社は、スイス本社で培われた高い技術力と品質を背景に装置の3年保証を実現するとともに、環境、食品、医薬品、半導体、化学など幅広い分野のお客様に対し、販売からアプリケーション相談、導入後のメンテナンス・サービスまで、メーカーならではのきめ細やかなサポート体制で対応しています。