整合器

　負荷（マイクロ波の照射対象）に対して、マイクロ波を効率良く伝送させるために、負荷と発振源とのインピーダンスを整合させるための機器です。　導波管内の定在波を検出し、負荷のインピーダンスを算出した上で、自動で整合を行うタイプと、人間が反射メータを見ながらスタブ調整を行う手動タイプの２種類があります。　インピーダンス変動の大きいプラズマ負荷の場合には、自動整合器が必須と言えます。　　