大気圧プラズマ処理

大気圧プラズマ処理ユニットAURORAは、従来の大気圧プラズマ処理では実用化が困難だった表面処理を「業界最高クラスの高速パルス出力」と「ハイパワーかつ連続運転可能なリアクタ」で実現しました。 誘電体バリア放電（DBD）方式を採用した大気圧プラズマ処理ユニットで、銅箔やFPCなどの表面に対して濡れ性改善、精密洗浄、酸化膜の還元などの処理をインラインで行える装置です。真空チャンバーを必要とせず、大気圧下で連続処理が可能です。 リチウムイオン電池、キャパシタ、FCCL、FFC、FPC、太陽電池、シールドなどの製品に使用される銅箔（Cu）等の薄型材料処理に効果を発揮します。 また、樹脂材料フィルムなどの高速搬送の表面改質や精密洗浄用途でもご検討いただけます。