微小振動を逃さない！高感度3軸加速度センサー│防水・TEDS対応
半導体・精密機器の微小な床振動を確実に捉える高感度設計。TEDS対応で感度設定を自動化し、多点計測の作業効率を劇的に改善。
【床振動・環境計測に最適な高感度設計】 100mV/m/s²の高出力により、一般的なセンサーでは捉えにくい微小な床振動も高いS/N比で明瞭に検出。 サイトサーベイ（設置環境調査）や除振台の性能評価など、高精度な振動管理が求められる用途に適しています。 【現場の効率と信頼性を高める機能】 ・設定ミスを防止（TEDS対応） センサー内に感度情報を保持し、対応機器に接続するだけで自動認識。多点計測時の設定ミスを防ぎ、立ち上げ時間を短縮します。 ・アンプ内蔵でノイズに強い（CCLD方式） 外部アンプ不要。同軸ケーブル1本で接続でき、長距離配線でも安定した測定が可能です。 ・軽量・高剛性チタンボディ 質量13.5gの軽量設計で対象物への影響を最小化。耐食性・耐久性にも優れています。 電子顕微鏡や露光装置の設置診断、精密加工機の振動評価、建物の微振動測定など、幅広い高精度計測に対応します。
基本情報
超高感度・低ノイズ設計により、精密機器の性能に影響を与える「微小な床振動」を高精度に可視化します。 【主な特長】 ■ 微小振動を高精度に検出 100mV/m/s²の高出力により、一般的なセンサーでは埋もれてしまう微細な振動も高いS/N比で明瞭に捉えます。 ■ 設定ミスを防ぐTEDS内蔵 センサー情報を自動認識し、多点計測時の入力ミスを防止。セットアップ時間の短縮にも貢献します。 ■ アンプ内蔵（CCLD方式）で簡単接続・高耐ノイズ 同軸ケーブル1本で計測器に直接接続可能。長距離配線でも安定した測定が行えます。 ■ 軽量かつ高耐久のチタンハウジング 対象物への影響を抑える軽量設計と、耐食性・堅牢性を両立。 ■ 低周波から安定した測定性能 低域からの平坦な特性により、構造物のゆれや低周波振動も精度よく検出します。 ■ 幅広い用途に対応 サイトサーベイ、除振台の評価、建物の微振動測定に加え、電子顕微鏡や半導体露光装置など高い静振性が求められる環境診断に最適です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
10万円 ~ 50万円
納期
応相談
用途／実績例
■ 半導体製造工場：露光装置の設置環境調査（サイトサーベイ） 新工場建設時や装置増設時の床振動測定に採用。 100mV/m/s²の高感度特性により、装置の歩留まりに影響を与える微小な環境振動を正確に把握し、最適な設置ポイントの選定に貢献しました。 ■ 精密測定室：電子顕微鏡の除振性能評価 外部からの振動を遮断する「除振台」の性能確認に導入。 TEDS機能による多点同時計測の効率化により、床面と台上の振動比較測定を短時間でミスなく完了。 ナノレベルの計測環境維持をサポートしています。 ■ 研究所・クリーンルーム：建築構造物の微振動モニタリング 交通振動や空調機器が建物に与える影響を長期間計測。 低域から安定した周波数特性を持つため、構造物特有の低周波振動もノイズに埋もれることなく捉えることが可能です。 ■ 産業機械：超精密加工機の稼働診断 加工精度に直結する微振動の変化を常時監視。 アンプ内蔵（CCLD）方式による長距離配線でも、外来ノイズを抑えた安定したデータ収集を実現しています。
関連動画
カタログ（6）
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この製品に関するニュース（3）
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「メンテナンス・レジリエンスTOKYO 2026」に出展
2026年7月15日（水）〜17日（金）の3日間、東京ビッグサイトで開催される「メンテナンス・レジリエンスTOKYO 2026」（第50回 プラントメンテナンスショー）に出展します。 現場の振動計測に不可欠な「聴く」「測る」「判断する」の3要素を1台で実現した「ポータブル振動計 VW-3100」をメインに、最新の計測ソリューションをご体感ください。 計測器メーカーである小野測器が、長年培ってきたセンシング技術と信号処理技術の知見を活用し、お客様の振動計測における課題を解決いたします。 また、生産設備の予知保全や製品検査を目的とした、音響・振動・回転・速度・温度・電圧に関連する計測器、判定器、検出器、センサーなどを幅広くご提案いたします。 【出展製品】 ポータブル振動計、音響振動解析システム、FFTコンパレーター、振動コンパレーター、騒音計（サウンドレベルメータ）、加速度センサー、レーザー面内速度計、デジタル回転計、回転検出器、デジタルハンディタコメーター、無線計測システム（温度・電圧）
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「人とくるまのテクノロジー展202６NAGOYA」に出展
当社は6月17日（水）～6月19日（金）の3日間に亘り、Aichi Sky Expo (愛知県国際展示場) で開催される｢人とくるまのテクノロジー展202６NAGOYA」およびオンライン展示会「人とくるまのテクノロジー展 ONLINE STAGE 2」に出展します。会場では「実測と仮想の最適解｜開発効率を向上させるソリューション」をテーマに主に最新製品の展示する予定です。 【次世代モビリティ開発を支援する計測ソリューション】 自動運転：複合模擬へ進化した「ADAS-VILS」 自動計測： つながる技術で試験を自動化・可視化する「FAMS-R6」や遠隔監視システム 音響・振動： 感性評価Webアプリから、高精度な「O-Solution」、レーザードップラー振動計まで一気通貫で解決 統合計測： 非接触厚さ計や回転計、各種センサー群 電動化： 無線計測基盤や熱マネ・TPAベンチマーキング 現場に寄り添い、確かな「安心」と「進化」を提案します。
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「人とくるまのテクノロジー展2026 YOKOHAMA」に出展
5月27日（水）～29日（金）の3日間、神奈川県の「パシフィコ横浜」で開催される「人とくるまのテクノロジー展2026 YOKOHAMA」およびオンライン展示会「人とくるまのテクノロジー展 ONLINE STAGE 1」に出展します。 リアル展、オンライン展ともに「実測と仮想の最適解｜開発効率を向上させるソリューション」をテーマに、最新の計測機器を展示する予定です。 皆様のご来場を心よりお待ちしております。 また「出展社セミナー」にて講演も実施いたします。5月27日（木）15:40からとなりますので、併せてお越しください。 【次世代モビリティ開発を支援する計測ソリューション】 自動運転：複合模擬へ進化した「ADAS-VILS」 自動計測： つながる技術で試験を自動化・可視化する「FAMS-R6」や遠隔監視システム 音響・振動： 感性評価Webアプリから、高精度な「O-Solution」、レーザードップラー振動計まで一気通貫で解決 統合計測： 非接触厚さ計や回転計、各種センサー群 電動化： 無線計測基盤や熱マネ・TPAベンチマーキング 現場に寄り添い、確かな「安心」と「進化」を提案します。
