ターボ分子ポンプ排気システム ST-Compact

卓上型ターボ分子ポンプ排気システム

最終更新日 2012年03月13日

グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ　TG60F

取付姿勢は自在！コントローラ一体型でコンパクトサイズの複合分子ポンプ！

最終更新日 2022年03月19日

姿勢自在形　複合分子ポンプ(TG-Fシリーズ)

低～超高真空まで広領域の排気に対応した取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ

最終更新日 2012年03月30日

油潤滑形複合分子ポンプ(TGシリーズ)

腐食性ガスの排気に対応。 ダストに強い構造でダスト混入によるポンプトラブルが少ない。 大気突入に強い堅牢設計。

最終更新日 2012年03月05日

新型磁気軸受形ターボ分子ポンプ『TG397M～1307M』

設定パラメータ、稼働データをポンプ本体に蓄積可能！

最終更新日 2022年11月30日

分析・計測装置向けターボ分子ポンプ　TG70F/240F

分析装置・計測システムへの搭載に対応！装置の小型化が可能な高性能ターボ分子ポンプ　※カタログ進呈

最終更新日 2022年03月17日

半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2019に出展

ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプなど電子部品や半導体製造に必要なポンプを紹介！

最終更新日 2019年11月21日

株式会社大阪真空機器製作所 製品案内

取り扱いが容易な液封式真空ポンプや故障しにくいエジェクタなどをラインアップ！

最終更新日 2023年02月13日

【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

ドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を実現！

最終更新日 2024年05月15日

【採用事例】金属部品コーティング用真空ポンプ

当社ターボ分子ポンプは国内外で多くの装置メーカにご採用いただいております！

最終更新日 2024年12月13日