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【CANTOPS】FOUP センサー 

接触式センサにより、光ノイズの影響を受けず安定した検知が可能!1,000万回以上の高耐久設計

本製品は、半導体製造装置のロードポートやSTB、ストッカーなどに設置し、ウェーハキャリア(FOUP/FOSB/POD/MAC)を検知するセンサです。 接触式のため、周囲の光ノイズや電磁ノイズの影響を受けず、対象物の有無を安定して検知できます。 また、内部に光学式検出機構を採用しており、1000万回以上の耐久性を実現しています。

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基本情報

・ウェーハキャリアとの接触検知により、高い信頼性を実現 ・内部センサー光学方式で1000万回以上の寿命 ・ヘッド、ケーブル、コネクタで構成されており、カスタマイズ対応 ・動作方式:接触式(Movementを押すと赤色点灯) ・全体動作距離:5.0mm(±0.3mm) ・定格動作電流:15mA以下 ・動作電圧範囲:DC 12~24V ・応答速度:1.5ms以下 ・LEDで動作確認可能 ・NPN/PNP対応 ・逆電圧・過熱保護回路を適用し、高い信頼性と安全性 *詳しい資料はお問い合わせください。

価格帯

納期

型番・ブランド名

CANTOPS 

用途/実績例

半導体製造ラインで使用されるウェーハキャリア(FOUP、FOSB、POD、MAC)を検知する接触式センサーです。 1,000万回以上の動作寿命を実現した高耐久設計により、長期間にわたって安定した検知性能を発揮します。 さらに、逆電圧・過熱保護に加え、静電気(ESD)および過電流保護回路を内蔵し、高い信頼性と安全性を実現しています。 ※ 適用事例 : STB, UTB, Load Port, Stocker, Conveyor

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取り扱い会社

SEBONGは、1992年に韓国で創業して以来、工場自動化(FA)分野に必要な制御機器・産業用電子機器を幅広く取り扱い、韓国のさまざまな産業分野へ製品とソリューションを提供してまいりました。 創業以来、日本をはじめとする海外メーカーとのネットワークを構築し、優れた技術・製品を韓国市場へ展開するとともに、自社で培ってきた技術・製品を海外市場へ展開するなど、グローバルな事業を推進しています。 SEBONG JAPANはSEBONGグループの日本法人として2019年に設立され、韓国をはじめ、ヨーロッパ、中国など世界各国から厳選した産業用制御機器・電子機器を日本市場へ提供しています。 日本と韓国、そして世界各国のメーカーをつなぐグローバルネットワークを活かし、センサー、電源、モーター・ドライバー、IoT機器など、幅広い製品の輸入・販売から、お客様の用途や設備に合わせた製品提案、技術サポートまで行っています。 海外の優れた技術を日本の産業現場へ、日本の優れた技術を海外市場へ。 SEBONGは国やメーカーの枠を越えて産業技術をつなぐパートナーとして、お客様の生産現場の自動化・効率化・高度化に貢献してまいります。