ピーアイ・ジャパン株式会社 公式サイト

高剛性＆高精度、真空にも対応可能な小型6軸ステージ

・トラベルレンジ ±17mm / ±21° ・負荷容量 5kg ・再現性 ±0.06µm ・最大速度 20mm/ 秒 ・真空対応バージョンあり ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

±0.2µmの再現性、アブソリュートエンコーダ標準搭載の重荷重対応モデル

・再現性 ±0.2 µm ・移動範囲 ±50 mm / ±50 mm / ±25 mm ・回転範囲 ±15° / ±15° / ±30° ・最小インクリメンタルモーション ±0.3 µm / ±0.3 µm / ±0.25 µm ・アブソリュートエンコーダー ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

最小動作10nmで、最大7mm移動、1kgまでの無電源保持 微細観察を支える高精度Z軸

・調整可能なトラレベルレンジ 7 mm ・ハイダイナミクスダイレクトドライブ ・1kgまでの重量補正機能を内蔵（ユーザーによる調整も可能） ・最小インクリメンタル・モーション 10 nm ・クロスローラーガイド ・対物レンズホルダーなど好適なオプションアクセサリー ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

66 mm開口×XYZ軸最大300 µmをナノオーダーで精密位置決め

・パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ・動作軸：XYZ軸 ・ストローク：100µm、200µm、300µmタイプ ・静電容量センサーによる高いリニアリティ ・摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ・比類のないスキャニング平坦度 ・高ダイナミックなXYZバージョンを用意、最大6軸のカスタムタイプが可能 ・センター開口部66 x 66mm ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

最大33mmの移動量！超小型で高精度ピエゾ駆動リニアステージ

・ストローク：13mm、23mm、33mm ・長さ × 幅 × 高さ B-421.131：25 × 29 × 11 mm B-421.231：35 × 29 × 11 mm B-421.331：45 × 29 × 11 mm ・最小インクリメンタルモーション：0.01μm ・最大積載荷重：0.5kg（水平） ・最大速度：14mm/s ・対応コントローラ：E-881

高ダイナミック、大動作角のピエゾチップ／チルトプラットフォームにより高速のステアリングミラーが可能。

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

60 mm幅・最大動作量200 mm、オプションで折返し駆動タイプ、保持ブレーキタイプ

【特長】 ・クロスローラーガイドによる高トラベル精度と負荷容量 ・最高0.1μmの再現性 ・用途に応じてActiveDriveDCサーボモータ、ステッピングモータ、 　DCギアモータタイプを提供 ・歪みのないアルミニウムベースで高度の安定性を実現可能 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

サイズ60mm四方で、XYZ軸の組合わせが可能なコンパクトリニアステージ

※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

片面および両面、直立およびロープロファイル、高精度アライメントルーチン

システム駆動軸：9軸 ＜ヘキサポッドラフポジショニング＞ 　トラベルレンジ： X, Y, Z＝±17, ±16, ±6.5mm、θX, θY, θZ＝±10, ±10, ±21度 　最小移動量：XY=0.1µm、Z=0.05µm 　ロータリーエンコーダ ＜ピエゾファインポジショニング＞ 　トラベルレンジ： X, Y, Z＝100µm 　最小移動量：2.5nm 　内蔵センサー ＜システム専用コントローラ＞ 　C-887型ヘキサポッドアナログ入力付属コントローラ＆ソフトウェア 　E-712型デジタルピエゾコントローラアナログ入力付属 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

用途に合わせて、必要な軸数や動作仕様に合った組合せで構成が可能

・XY軸構成： V417型 高精度位置決めステージ ・トラベルレンジ：204～407mm ・G-901型コントローラ対応 ・オプション：グラナイトベースプレート、架台など豊富 ・オプション：Z軸 L412型 位置決めステージ（トラベル ～102mm）