ECR電子・イオン源

ECR（電子サイクロトロン共鳴）技術を用いた電子源・イオン源製品のカテゴリです。エッチング、スパッタリング、表面改質、イオンビーム加工、質量分析など幅広いプロセス・研究用途に対応します。