世界最小クラスのECR電子・イオン源シリーズ TES-40など
九州計測器は日本唯一の正規代理店です。
CAMECA（旧 Polygon Physics） TESシリーズは、高安定な電子・イオンビームを実現するECR電子・イオン源です。 フィラメントレス・冷却不要のコンパクト設計により、高い安定性と低メンテナンス性を実現。 エッチング、スパッタリング、表面改質、質量分析など幅広い用途に対応します。
基本情報
⚫︎方式：ECR（電子サイクロトロン共鳴） ⚫︎対応機種：TES-40、TES-63、TES-GO、TES-100 ⚫︎ビーム：電子ビーム / イオンビーム ⚫︎加速電圧：0.1〜30kV（機種による） ⚫︎対応ガス：H₂、He、N₂、O₂、Ar、Xe など ※対応可能なガス種・イオン種・運転条件は、機種および用途により異なります。 ⚫︎機能：パルスモード、バイポーラモード（オプション） ⚫︎特長：フィラメントレス、冷却不要、低メンテナンス ※仕様・対応機能は機種・構成により異なります。詳細はお問い合わせください。
価格帯
納期
型番・ブランド名
TES-40/TES-63/TES-GO/TES-100
用途／実績例
九州計測器は、CAMECA社（旧 Polygon Physics） 電子・イオン源シリーズの国内唯一の正規代理店です。 メーカーと連携した販売・技術サポート体制により 製品選定から導入後のフォローまで対応します。 国内でCAMECA社 電子・イオン源をご検討の際は、ぜひ九州計測器へご相談ください。
