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オスミウムコータ(導電被膜形成)設備の紹介とその観察例

熱ダメージもなく、nm単位の膜厚を高い再現性で成膜できる!

オスミウムコータ(導電被膜形成)設備の紹介とその観察例について 解説いたします。 試料表面の導電被膜形成処理として、金属オスミウム(Os)の 極薄膜コーティングを行います。 また、試料表面に膜由来の形状が現れず、表面形状観察やEBSD測定への 前処理に用いることが可能です。 【特長】 ■チャージアップのない極薄膜の形成 ■再現性の高い膜厚制御 ■粒状性のない膜 ■熱ダメージのない成膜 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.qualtec.co.jp/case_study/1230/

基本情報

【設備仕様】 ■メイワフォーシス製Neoc-Pro/P ■チャンバー寸法:Φ150×70mm ■真空ポンプ容量:50L/min ■本体外形寸法:340(W)×280(D)×400(H)mm ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯

納期

用途/実績例

【用途】 ■SEM,FE-SEM観察の前処理(複雑な形状の試料、熱ダメージに弱い試料など) ■EBSD測定の前処理 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

取り扱い会社

設立から今日まで、不良ゼロの実現を目指す現場の声に応えるために、信頼性試験・不良解析・再現実験と同時に、現場改善などの問題に取り組んでまいりました。 また、従来の基板や実装問題だけにとどまらず、現在では製品全般の品質保証、工場内部の検査工程や海外部品調達をはじめ、国内外の工場調査・工場改善までトータルにサポートしております。 私たちクオルテックが目指すのは、お客様にとって最良のビジネスパートナーになることです。

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