エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 コンポーネンツ機器部 公式サイト

コンパクトサイズでローコスト。半導体製造ラインなどで活躍。静電容量型

【仕様】 ◎圧力範囲：0～1kPaから0～100kPa ◎精度：±0.5%読み値(±0.25%オプション) ◎補償温度：0～50℃ ◎使用電源：DC12～30V ◎長期安定性：±0.5％FS／年 ◎応答性：20msec ◎過負荷耐圧：300kPa ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

超微差圧０～２５Ｐａから２５ｋＰａまでの豊富な圧力レンジ。±0.4％ＦＳの高精度な微差圧センサです。

■ フルスケール２５Ｐａの超微差圧から計測 ■ ローコスト ■ ±１％の精度 ■ ＤＣ０～５Ｖまたは４～２０ｍＡ出力 ■ ケース外側よりゼロとスパンの調整が可能 ■ ＣＥ・ＲｏＨＳ対応

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガスフィルターです。

[流量] 0～8550Ｌ/ｍｉｎ [3nmフィルター] 多孔質PTFEフィルターで0.003マイクロメートルのろ過精度 [最大使用温度] 不活性ガス中 80℃ CDA(60℃を超える用途)でのフィルター寿命に関してはお問い合わせください [最大使用圧力] 1.72MPa [クリーンルーム製造] クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業 [100%ヘリウムリークテスト] ＜1×10 -9 atm cc/sec ◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇

省エネ革命！PSA(Pressure Swing Adsorption)式窒素ガス発生装置でコスト削減と環境負荷低減を同時に実現

N2ガス純度：99％～99.99％　 N2ガス発生量(N?/h)：60～150　 N2ガス圧力(MPaG)：0.5～0.6 摘要コンプレッサ(kW)：22～37 電源/消費電力：AC100~240V、50/60Hz、0.2kW 本体寸法(W×D×H、ｍｍ)：1210×1520×1920 もしくは 1500×1770×2100 質量(kg)：2050 もしくは 3050 ※窒素ガス純度は窒素ガス等の体積比を記載しております。 より詳細な仕様、選定についてはお気軽にお問い合わせください。

水素脆化対策に適した特殊ステンレス採用の水素ガス向け圧力センサ

BD社の圧力センサDMP336は水素脆化に強い特殊なステンレス合金を使用していますので、高圧の水素アプリケーションに適しています。 圧力レンジ：0～1.6から0～100MPa（ゲージ圧） 精度：±0.5％FS 媒体温度：-40～125℃ 圧力継手：Gネジ（EN837)、1/4NPTオネジ 禁油処理

ＢＤ社　高速応答タイプ　高精度圧力トランスミッタ ＤＭＰ３２０

●　０.５ミリ秒以下の高速応答性、 ●　１０ｋＨｚのサンプリングレート ●　±０.１％ＦＳの高精度 ●　１０ｋＰａ～６０ＭＰａ まで豊富な圧力レンジ ●　ゲージ圧、絶対圧、負圧の３モード ●　４～２０ｍＡまたは０.１～１０Ｖ出力 その他詳細は資料請求もしくはカタログダウンロード下さい。

特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサ

デッドスペースが１．８ｍＬと小さくパージが容易に行えます。 接ガス部はＳＵＳ３１６ＬのＶＡＲ材を０．１８Ｒａの電解研磨処理しており、全品ヘリウムリークテストを行っています。 スライド式カバーになっておりゼロ、スパンの調整が容易に行えます。 わずかなダイヤフラムの変化の静電容量を検出し独自のチャージバランス原理を使用したカスタムＩＣにより高精度のリニアな直流電気信号に変換します。 電気接続は１．８ｍ多芯ケーブル又は４ピン差込コネクタが用意されています。