膜厚ムラ可視化システム｜レジスト塗布の不均一性を定量観察

膜厚差を「色」で捉える。粘性流体の特性から発生する微小なムラやディスペンス条件の差を、超高感度に可視化します。

最終更新日 2026年05月12日

マクロ検査装置｜ウエハの異物・膜ムラ・欠陥を高速一括検知

12インチウエハを7秒で撮像。解像せず欠陥を捉える独自光学系で、検査タクトを業界標準の1/4に短縮し全数検査を実現。

最終更新日 2026年05月12日