【大手メーカーで全自動フォトマスク洗浄装置の導入が増加しています！】
株式会社テクノビジョン 本社
"マスク洗浄といえばテクノビジョン" を合言葉にこれからも業界一、世界一を 目指して参ります。 台湾、中国、日本でLEDの生産が活発になり、それに伴いフォトマスク洗浄装置の受注が大手メーカーより相次いでいます。 テクノビジョンでは従来から培ってきたスクラブ洗浄術に加え、新たに薬液洗浄技術の開発に取り組んでまいりました。 ◆スクラブ洗浄：主にパーティクルの除去 ◆薬液洗浄：マスクに付着したレジストを除去 LED生産においては素子パターンのデザインルールL/Sが、サブミクロン領域には至っていないため、露光プロセスにはプロキシミティーまたはコンタクトアライナーが使用されます。 このため、マスク汚染に対してはレジスト除去とパーティクル除去機能をもった 洗浄装置が必要となります。 某大手LEDメーカーではマスク洗浄が月間5000枚以上に達し、有害薬液などの保護対策が必要とされています。 テクノビジョンの全自動マスク洗浄装置は、このような量産工場で対応できる、 安全かつ環境にやさしい唯一のコンパクト、スモールフットプリント洗浄装置です。 ◆詳しくはお問い合わせください。
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株式会社テクノビジョンは半導体、フラットパネル、ディスク等ハイテクノロジー産業で、製造プロセスの歩留り向上、品質向上とそして自動化、省力化に大きく貢献しています。
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