フォトマスク洗浄装置 | 縦型コンパクトタイプ TWE-200
スクラブ洗浄・リンス・乾燥を一台で行いフォトマスクに付着したゴミや汚れを洗浄するマスククリーナー
基本情報
■主な特長 ・ワークの スクラブ洗浄 ・ リンス ・ 乾燥 を一台の装置でスピーディーに行う ・特殊洗浄ブラシにてワークに傷を付けず洗浄ムラなく精密洗浄を行う ・縦型処理の為、ワークにストレスがかからない ・少量多品種、Ｒ＆Ｄ用途の基板洗浄にも好適 ・各サイズ専用ワークホルダーの用意とフリーサイズ対応ワークホルダーをご用意 ・ワーク接触部分は、樹脂にて対応 ※各種オプションも用意。 ※カスタム対応等、詳細はお気軽にお問い合わせください。
価格情報
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納期
型番・ブランド名
TWE-200
用途／実績例
■主な用途 フォトマスク： 半導体用、液晶用、有機ＥＬ用、カラーフィルター用、 薄膜デバイス用、ＩＣパッケージ用、ＰＷＢ用、ＰＣＢ用、ＦＰＣ用 その他、板状基板等洗浄可 ■各オプション ・界面活性剤供給ユニット ・HEPA／ULPAユニット ・イオナイザー、 ・ホットエアーナイフ ・純水加熱ユニット
ラインアップ（4）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| モデル TWE-200 | マスクサイズ：300mm×300mmまで／ 装置寸法：980mm（幅）×720mm（奥行）×1,760mm（高さ）／ 重量：250Kg |
| モデル TW-300 | マスクサイズ：360mm×460mmまで ／ 装置寸法:1,070mm（幅）×700mm（奥行）×1,815mm（高さ）／ 作業高さ：1,200mm ／ 重量：280Kg |
| モデル TW-700 | マスクサイズ：620mm×720mmまで ／ 装置寸法：1,810mm（幅）×880mm（奥行）×1,590mm（高さ）／ 作業高さ：1,240mm ／ 重量：580Kg |
| モデル TW-1000 | マスクサイズ：1,300mm×1,700mmまで ／ 装置寸法：17,200mm（幅）×1,200mm（奥行）×2,700mm（高さ） |
カタログ（1）
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この製品に関するニュース（3）
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UVフィルム硬化装置「UVC-512B」デモテスト受付開始しました
株式会社テクノビジョンは、この度 UVフィルム硬化装置「UVC-512B」のデモテストの受付を開始致しました。 UVフィルム硬化装置「UVC-512B」 主な特徴 ・従来の安定したUV照射機能はそのままに、新たにUV センサーを搭載して、レシピ設定が容易になりました。 ・スライドテーブル開閉機構からエアシリンダーを排して、より安全な機構を採用しました。 ・動作履歴、異常履歴のロギング機能を搭載しました。 詳しくは製品担当までお問い合わせください 株式会社テクノビジョン TEL：049-299-1385 E-Mail： technovision.info@techvision.co.jp
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スプリングチャック式 マニュアルマウンター FM−2248/2243【デモ機貸出開始】
株式会社テクノビジョンは、この度「スプリングチャック式 マニュアルマウンター FM−2248/2243」のデモ機貸出しを開始致しました。 スプリングチャック式 マニュアルマウンター FM−2248/2243 主な特徴 ・ワーク厚みの違いによる高さ調整機が不要で、細かな作業がなくなります。 ・慣れない作業者でも容易に貼り付けを行うことが可能です。 ・さらにヒーターユニットも搭載可能となります。 ・8inchまたは、12inchワーク対象 詳しくは製品担当までお問い合わせください 株式会社テクノビジョン TEL：049-299-1385 E-Mail： technovision.info@techvision.co.jp
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簡易洗浄ユニット発売のお知らせ
このたび、マスク洗浄を補助する、『簡易洗浄ユニット』をご用意いたしました。 簡易洗浄ユニットは、以下の「ケミカルユニット」、「スクラブユニット」、「ドライユニット」の3種類ございます。 ・ケミカルユニット：マスク表面に付着したレジスト残渣や昇華物を推奨薬液にて溶解・剥離を行います。 ・スクラブユニット：マスク表に付着したパーティクル等の汚れを推奨薬液と洗浄ブラシの併用でスクラブ洗浄を行います。 ・ドライユニット：洗浄されたウエット状態のマスクを温水引上げにて乾燥を行います。 簡易洗浄ユニットは、お客様が既にご使用されている設備と併用して各ユニットのご選択ができます。 「加熱出来る薬液浸漬槽でレジストを溶解・剥離したい！」 「ブラシでスクラブ洗浄したい！」 「乾燥シミが気になるので乾燥だけがほしい！」 等々のご要望があれば、先ずはご相談ください。 組合せは自由に対応できます。
取り扱い会社
株式会社テクノビジョンは、1987年9月創業以来、洗浄技術、組立技術をコアーに自社製品の開発、製造、輸出入業務に取り組んでおります。 今日のハイテク産業の中でお客様のニーズにお応えし、お客様の立場に立った視野で技術、製品、及びサービスの提供を目指していく所存でございます。
