カセット／キャリア洗浄装置
フォトマスク洗浄装置
簡易型マスク洗浄装置
全自動マスク洗浄装置TWC-200A
簡易洗浄ユニット
UV(紫外線)オゾン洗浄装置
超純水用ヒーター(QHシリーズ)
ドライエアー用ヒーター(SHシリーズ)
テープマウンター
ウェハーエキスパンダー
UV硬化装置／UV照射装置
グリップリング
洗浄装置関連
後工程組立
不活性ガス・クリーンドライエアー加熱用ヒーター。流体通路はオールステンレス電解研磨処理を採用
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クリーン加熱ヒーター｜「SHシリーズ」
加熱部にステンレス（SUS 316-EP処理）を採用した不活性ガス／クリーンドライエアー用ヒーター
最終更新日 2023年04月28日
