ウェハー拡張装置｜ウェハーエキスパンダー TEX-21シリーズ

拡張ステージの駆動にエアシリンダーを採用。シンプル構成により、メンテナンスフリーを実現。

最終更新日 2023年05月10日

ウェハー拡張装置｜ウェハーエキスパンダー TEX-220

オペレータの作業を低減、生産効率を向上することができる、オートカット機能搭載のウェハー拡張装置

最終更新日 2023年05月10日

ウェハー拡張装置｜ウェハーエキスパンダー EX-300

モーター駆動方式を採用した12インチ対応のウェハーエキスパンダー。8インチまでの対応も提供可能。

最終更新日 2023年05月10日