カセット/キャリア洗浄装置
フォトマスク洗浄装置
簡易型マスク洗浄装置
全自動マスク洗浄装置TWC-200A
簡易洗浄ユニット
UV(紫外線)オゾン洗浄装置
超純水用ヒーター(QHシリーズ)
ドライエアー用ヒーター(SHシリーズ)
テープマウンター
ウェハーエキスパンダー
UV硬化装置/UV照射装置
グリップリング
洗浄装置関連
後工程組立
レジストとパーティクルを同時に除去する専用薬液対応のCassette to Cassette全自動マスク洗浄装置。
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マスク洗浄機|全自動マスク洗浄装置「TWC-200A」
マスクに付着した1μm以上のパーティクルとレジスト残渣を一挙に完全除去
最終更新日 2023年05月09日