洗浄装置｜ウェハーカセット・キャリア洗浄装置「 TCC-803」

ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、キャリアー、ボックス等の精密洗浄を 目的とした洗浄装置。

最終更新日 2023年04月27日

フォトマスク洗浄装置 | 縦型コンパクトタイプ TWE-200

スクラブ洗浄・リンス・乾燥を一台で行いフォトマスクに付着したゴミや汚れを洗浄するマスククリーナー

最終更新日 2024年08月09日

フォトマスク洗浄装置｜簡易型マスク洗浄装置TWC-302

「スクラブ洗浄＋リンス」＆「Hot純水乾燥」の2槽式簡易型マスク洗浄装置

最終更新日 2023年04月28日

フォトマスク洗浄装置｜PDP・大判フォトマスク用 TW-1000

スモールサイズからラージサイズまで、スクラブ洗浄・リンス・乾燥を1台で実施！

最終更新日 2023年04月28日

マスク洗浄機｜全自動マスク洗浄装置「TWC-200A」

マスクに付着した1μm以上のパーティクルとレジスト残渣を一挙に完全除去

最終更新日 2023年05月09日

簡易型マスク洗浄装置｜簡易洗浄ユニット

簡易洗浄ユニットは、最大7インチマスクサイズまで対応できる簡易洗浄ユニットです。

最終更新日 2023年04月28日

UV(紫外線)オゾン洗浄装置| UV-208/UV-312

UV光源に高密度グリッド形状の低圧水銀ランプを採用

最終更新日 2023年04月28日