洗浄装置|ウェハーカセット・キャリア洗浄装置「 TCC-803」
ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、キャリアー、ボックス等の精密洗浄を 目的とした洗浄装置。
基本情報
カセット洗浄装置「モデルTCC-803」は、ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、キャリアー、ボックス等の精密洗浄を 目的とした少量多品種生産用途のコンパクトな洗浄装置です。 ■特長: ・精密洗浄:ワークに上下、左右回転動作機能を持たせ隅々まで精密洗浄 ・強力洗浄:ウェハー収納ミゾ部全面に対し直角スプレーを実施 ・省スペース:縦型設計で、小フットプリントを実現
価格情報
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納期
型番・ブランド名
TCC-803
用途/実績例
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