ウェハー拡張装置|ウェハーエキスパンダー TEX-220
オペレータの作業を低減、生産効率を向上することができる、オートカット機能搭載のウェハー拡張装置
オペレータが求める『優れた作業性』実現! 従来の装置になかった自動カット機能を搭載したウェハー拡張装置のモデルです。 今まで行っていました余分なフィルム(ダイシングフレーム)との切り離し作業が、これからは「スイッチを押すだけ」に変わります。 EXシリーズ「ウェハーエキスパンダー」は、フルカットされたウェハーをダイシングテープごと拡張ステージで引き伸ばし、チップ間隔/ストリート幅を適切な幅に均一に広げることのできるテープ拡張装置です。 拡張ステージの駆動にモーターを採用により、拡張ストロークや拡張スピードの数値管理が可能です。 またオートカット機能を標準で搭載しています。 テクノビジョンでは、各種ウェハーエキスパンダーを用意しており、それぞれベーシックモデル、12インチ対応のモーター駆動型エキスパンダー、オートカット機能付きエキスパンダー等、要件に応じた選択が可能。 拡張後は、グリップリング(インナーリングとアウターリングの自動挟み込み)によりテープの拡張状態を保持します。
基本情報
■主な特長 ・拡張率を任意に設定可能。 ・拡張スピードを任意に設定可能。 ・高拡張率を可能とするホットプレート搭載ステージ。 ・グリップリングで拡張されたフィルムを自動グリップ。 ・フィルム自動カット機構搭載 ■カスタマイズ 安全スイッチ、シグナルタワー設置、ダンパー仕様...等、お客様独自仕様や特別な改造等にも対応。
価格帯
納期
型番・ブランド名
TEX-220
用途/実績例
ダイシング/分割されたウェハーをX-Y方向に均一に拡張し、チップ間隔を任意のギャップに広げ、ダイシング/分割後のチップハンドリングを著しく向上させるテープ拡張装置
ラインアップ(1)
型番 | 概要 |
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TEX-220 | 8インチまで、装置寸法:420mm(W)× 675mm(D)× 480mm(H) |
カタログ(1)
カタログをまとめてダウンロードこの製品に関するニュース(3)
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UVフィルム硬化装置「UVC-512B」デモテスト受付開始しました
株式会社テクノビジョンは、この度 UVフィルム硬化装置「UVC-512B」のデモテストの受付を開始致しました。 UVフィルム硬化装置「UVC-512B」 主な特徴 ・従来の安定したUV照射機能はそのままに、新たにUV センサーを搭載して、レシピ設定が容易になりました。 ・スライドテーブル開閉機構からエアシリンダーを排して、より安全な機構を採用しました。 ・動作履歴、異常履歴のロギング機能を搭載しました。 詳しくは製品担当までお問い合わせください 株式会社テクノビジョン TEL:049-299-1385 E-Mail: technovision.info@techvision.co.jp
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スプリングチャック式 マニュアルマウンター FM−2248/2243【デモ機貸出開始】
株式会社テクノビジョンは、この度「スプリングチャック式 マニュアルマウンター FM−2248/2243」のデモ機貸出しを開始致しました。 スプリングチャック式 マニュアルマウンター FM−2248/2243 主な特徴 ・ワーク厚みの違いによる高さ調整機が不要で、細かな作業がなくなります。 ・慣れない作業者でも容易に貼り付けを行うことが可能です。 ・さらにヒーターユニットも搭載可能となります。 ・8inchまたは、12inchワーク対象 詳しくは製品担当までお問い合わせください 株式会社テクノビジョン TEL:049-299-1385 E-Mail: technovision.info@techvision.co.jp
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簡易洗浄ユニット発売のお知らせ
このたび、マスク洗浄を補助する、『簡易洗浄ユニット』をご用意いたしました。 簡易洗浄ユニットは、以下の「ケミカルユニット」、「スクラブユニット」、「ドライユニット」の3種類ございます。 ・ケミカルユニット:マスク表面に付着したレジスト残渣や昇華物を推奨薬液にて溶解・剥離を行います。 ・スクラブユニット:マスク表に付着したパーティクル等の汚れを推奨薬液と洗浄ブラシの併用でスクラブ洗浄を行います。 ・ドライユニット:洗浄されたウエット状態のマスクを温水引上げにて乾燥を行います。 簡易洗浄ユニットは、お客様が既にご使用されている設備と併用して各ユニットのご選択ができます。 「加熱出来る薬液浸漬槽でレジストを溶解・剥離したい!」 「ブラシでスクラブ洗浄したい!」 「乾燥シミが気になるので乾燥だけがほしい!」 等々のご要望があれば、先ずはご相談ください。 組合せは自由に対応できます。
取り扱い会社
株式会社テクノビジョンは、1987年9月創業以来、洗浄技術、組立技術をコアーに自社製品の開発、製造、輸出入業務に取り組んでおります。 今日のハイテク産業の中でお客様のニーズにお応えし、お客様の立場に立った視野で技術、製品、及びサービスの提供を目指していく所存でございます。