ウェハー拡張装置|ウェハーエキスパンダー TEX-220
オペレータの作業を低減、生産効率を向上することができる、オートカット機能搭載のウェハー拡張装置
オペレータが求める『優れた作業性』実現! 従来の装置になかった自動カット機能を搭載したウェハー拡張装置のモデルです。 今まで行っていました余分なフィルム(ダイシングフレーム)との切り離し作業が、これからは「スイッチを押すだけ」に変わります。 EXシリーズ「ウェハーエキスパンダー」は、フルカットされたウェハーをダイシングテープごと拡張ステージで引き伸ばし、チップ間隔/ストリート幅を適切な幅に均一に広げることのできるテープ拡張装置です。 拡張ステージの駆動にモーターを採用により、拡張ストロークや拡張スピードの数値管理が可能です。 またオートカット機能を標準で搭載しています。 テクノビジョンでは、各種ウェハーエキスパンダーを用意しており、それぞれベーシックモデル、12インチ対応のモーター駆動型エキスパンダー、オートカット機能付きエキスパンダー等、要件に応じた選択が可能。 拡張後は、グリップリング(インナーリングとアウターリングの自動挟み込み)によりテープの拡張状態を保持します。
基本情報
■主な特長 ・拡張率を任意に設定可能。 ・拡張スピードを任意に設定可能。 ・高拡張率を可能とするホットプレート搭載ステージ。 ・グリップリングで拡張されたフィルムを自動グリップ。 ・フィルム自動カット機構搭載 ■カスタマイズ 安全スイッチ、シグナルタワー設置、ダンパー仕様...等、お客様独自仕様や特別な改造等にも対応。
価格帯
納期
型番・ブランド名
TEX-220
用途/実績例
ダイシング/分割されたウェハーをX-Y方向に均一に拡張し、チップ間隔を任意のギャップに広げ、ダイシング/分割後のチップハンドリングを著しく向上させるテープ拡張装置
ラインアップ(1)
型番 | 概要 |
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TEX-220 | 8インチまで、装置寸法:420mm(W)× 675mm(D)× 480mm(H) |
カタログ(1)
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