● MiniLab-WCF超高温ウエハーアニール炉2200℃
● MiniLab-WCF超高温ウエハーアニール炉2200℃
安全性・操作性を重視した、『ウエハー焼成』専用R&D用超高温実験炉。 ◆主な特徴◆ ・習熟度を問わずどなたでも簡単に操作できます。 ・自動シーケンス操作：試料設置後、煩雑な操作が必要無く、ボタン操作のみで真空引〜ベント〜ガス導入を実行 ・上部扉より内部試料室にアクセス ・有効加熱範囲：φ6-φ8inch（その他サイズ可能） ・高真空雰囲気対応（ターボ追加：1x10-5Torr） ・インターロック8系統の状態が前面LEDランプで確認 ◆基本仕様◆ ・発熱体：CCコンポジット ・断熱材：グラファイト, タングステン/モリブデン ・電源仕様：AC200V 70A 14KW（*8inch 2ゾーンの場合） ・Max2000℃ ・使用雰囲気：真空・不活性ガス, 真空・不活性ガス ・プログラム温調計、C熱電対 ◆オプション◆ ・2ゾーン制御（*6, 8inch） ・記録計 ・ターボ分子ポンプ ・ウエハホルダー ◆主な用途◆ ・SiC, GaN等電子デバイス ・他先端材料開発に応用
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