メタル炉
メタル炉
小型メタル炉は、オールメタル構造により炉材由来の汚染を抑えた高純度環境で、真空・不活性・還元雰囲気に対応し、高精度な高温熱処理を実現する電気炉です。
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メタル炉｜極真空・炉材などのコンタミフリーの高純度熱処理炉
極真空×メタルホットゾーンで、炉材由来のコンタミを抑えた高純度熱処理
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メタル炉｜極真空・高純度雰囲気でO・C・H₂O由来の影響を低減
酸化物・窒化物材料の脱ガス・脱水・脱炭を、極真空〜還元雰囲気で制御
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メタル炉｜高純度アニール・表面改質に対応
メタルホットゾーンで炉材由来コンタミを抑え、金属粉・薄膜材料をクリーンに熱処理
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メタル炉｜セラミックスや金属のろう付けを高純度雰囲気で
セラミックスと金属の熱膨張差を制御しながら、クリーン雰囲気で強固に封着
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用途・温度・雰囲気から考える 電気炉選定ガイド ※無料進呈中
電気炉の種類と選定の考え方を解説。初期検討に役立つフローチャート・チェックリストも収録
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メタル炉｜半導体部品の気密封止・ろう付け・高真空熱処理向け
高真空・高純度雰囲気で、半導体部品の気密封止と信頼性向上をサポート
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分析用サンプル前処理向けメタル炉｜高真空・高純度雰囲気対応
高真空・高純度雰囲気で、分析前サンプルの脱ガス・酸化防止・安定化をサポート
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研究開発向けメタル炉｜真空・還元雰囲気・高温熱処理対応
真空・還元雰囲気で、材料開発や高温熱処理をサポート
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メタル炉｜光学部品の封着・ろう付け・高純度雰囲気焼成向け
高純度雰囲気で、光学部品の封着・ろう付け・熱処理をサポート
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小型メタル炉｜炉材コンタミ・アウトガスを抑える高純度熱処理
金属ホットゾーンで、断熱材・炉材由来のアウトガスや発塵を抑制
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小型メタル炉｜炉材コンタミを抑えた高純度焼成に対応
オールメタル構成で、カーボン・炉材由来の汚染を抑えた高純度熱処理
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Cl2・H2・NH3・O2・加湿などの多様な焼成テストに対応
塩素・還元・酸化・NH3・加湿など、特殊雰囲気での焼成可否を設備導入前に確認
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