メタル炉
メタル炉
小型メタル炉は、オールメタル構造により炉材由来の汚染を抑えた高純度環境で、真空・不活性・還元雰囲気に対応し、高精度な高温熱処理を実現する電気炉です。
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メタル炉｜カーボンフリーの“メタル雰囲気"
材料本来の反応をそのまま観る！黒鉛部材を一切使わないチャンバーで、炭素由来の副反応や汚染を抑制
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メタル炉｜酸素・炭素・水分を徹底排除
真の高純度酸化物・窒化物材料へ。真空～還元雰囲気まで自在制御、脱ガス・脱炭・高純度化プロセスを一台で実現
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メタル炉｜汚染を抑えた高純度アニールをよりコンパクトに
金属雰囲気を活かしたクリーンな加熱環境で、金属粉・薄膜材料の特性を最大限に引き出す
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メタル炉｜セラミックス-金属の気密封着を“高純度雰囲気"で
セラミックスと金属の熱膨張差を制御しながら、クリーン雰囲気で強固に封着
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メタル炉｜半導体封止向け
セラミックスと金属の気密封着を、高純度雰囲気で実現。
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メタル炉による安定化｜分析機器向け
高純度雰囲気で、分析機器の信頼性を向上
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メタル炉｜研究機関向け
セラミックスと金属の気密封着を、高純度雰囲気で実現。
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メタル炉｜光学向け
セラミックスと金属を高純度雰囲気で気密封着
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オールメタルで構成された小型メタル炉
炉内がメタル材料で構成！断熱材などによる炉内の汚染を低減可能な加熱炉
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クリーンな雰囲気での焼成が可能な小型メタル炉について
オールメタル構成！高温域では金属表面が微量O2と反応しやすく、残留酸素の影響を低減
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