【対応できること】 ■ F系・Cl系などハロゲンガスを用いた高温処理 ■ 腐食性ガス雰囲気での材料反応評価 ■ 表面処理、エッチング、洗浄、除膜条件の検討 ■ ハロゲンガスによる炉材・治具・試料の腐食評価 ■ 量産プロセス前の小スケール条件確認 【設備構成のポイント】 ■ 耐食性を考慮した炉体・配管・接ガス部材の選定 ■ パッキン、シール材、継手部の腐食・リーク対策 ■ 排気ライン、スクラバー、除害装置との連動 ■ ガス検知、非常遮断、インターロックによる安全設計 ■ 処理温度、ガス種、濃度、流量に応じたカスタム設計 ※仕様はガス種、温度、圧力、処理量、除害条件に応じてご提案します。

※納期や価格については、お気軽にお問い合わせください。

装置の内容次第で価格が異なるため、お気軽にお問合せください。

【用途】 ■ F系ガス、Cl系ガスを用いた高温反応試験 ■ 半導体・電子材料向けの表面処理、エッチング、洗浄評価 ■ セラミックス、石英、SiC、AlN、カーボン材の腐食・反応評価 ■ 治具、炉内部材、コーティング材の耐ハロゲン性評価 ■ ハロゲン雰囲気での除膜、脱金属、表面改質 ■ 量産設備導入前の小型テスト・条件スクリーニング 【このような課題に】 ■ ハロゲンガスでヒーターや炉材が腐食しないか不安 ■ パッキンや配管からのリーク、安全面が心配 ■ 既存炉ではF系・Cl系ガスを扱えない ■ 試料や治具の腐食性を小スケールで確認したい ■ スクラバーや除害設備まで含めて検討したい ■ 量産炉の前に、反応条件・安全条件をテストしたい 材料、ガス種、処理温度、濃度、流量、除害条件が未確定の段階でも、用途に応じてご相談いただけます。