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ウェーハの微細な汚れを徹底除去。ソノシスが実現する高品質洗浄。

【特長】 ・メガソニックノズルによる高効率洗浄 ・400kHzから9MHzまでの幅広い周波数対応 ・浸水型トランスデューサーによる柔軟な対応 ・バス・タンク式洗浄による費用対効果の向上 ・ステンレス製またはプラスチック製トランスデューサー 【当社の強み】 ティックコーポレーションは、お客様のニーズに応える製品を提供することをモットーに、幅広い製品を取り扱っています。超音波洗浄装置だけでなく、関連する様々な製品も提供可能です。

プリズムの精密洗浄に。ソノシスの超音波洗浄装置。

【特長】 ・シングル、デュアル、トリプルチャネルノズルと、600kHz～9MHzのメガソニックノズル ・400kHz/600kHz/1MHz/2MHzのメガソニック浸水型トランスデューサー ・既存タンクへの設置が可能 ・4"、6"、8"基板サイズに対応、特注も可能 【当社の強み】 ティックコーポレーションは、お客様のニーズに応える製品を提供することをモットーに、幅広い製品を取り扱っています。

最新の超音波洗浄はソノシスにお任せください

各商品リーフレットを参考ください。

ウェーハ洗浄の課題を解決する、ソノシスの超音波洗浄

【特長】 ≪超精密高周波メガソニック洗浄スプレーノズル≫ ・シングル、デュアル、トリプルチャネルノズルと周波数の組み合わせによる多様な洗浄ニーズへの対応 ・400kHzから9MHzまでのメガソニック浸水型トランスデューサー ≪超精密高周波メガソニック浸漬洗浄型システム≫ ・ステンレス製またはプラスチック製トランスデューサー ・4"、6"、8"基板サイズに対応 ・バス・タンク式洗浄による費用対効果の向上 【当社の強み】 ティックコーポレーションは、お客様のニーズに応える製品を提供することに注力しています。長年の経験と幅広い製品ラインナップから、最適な洗浄ソリューションをご提案します。

MEMSデバイス製造の表面清浄化を、ソノシスの超音波洗浄で

【特長】 ≪超精密高周波メガソニック洗浄スプレーノズル≫ ・シングル、デュアル、トリプルチャネルノズルと周波数の組み合わせによる多様な洗浄ニーズへの対応 ・400kHzから9MHzまでのメガソニック浸水型トランスデューサー ≪超精密高周波メガソニック浸漬洗浄型システム≫ ・ステンレス製またはプラスチック製トランスデューサー ・4"、6"、8"基板サイズに対応 ・バス・タンク式洗浄による費用対効果の向上 【当社の強み】 ティックコーポレーションは、お客様のニーズに応える製品を提供することに注力しています。長年の経験と幅広い製品ラインナップから、最適な洗浄ソリューションをご提案します。

ウェーハ洗浄の課題を解決する、ソノシスの超音波洗浄

【特長】 ≪超精密高周波メガソニック洗浄スプレーノズル≫ ・シングル、デュアル、トリプルチャネルノズルと周波数の組み合わせによる多様な洗浄ニーズへの対応 ・400kHzから9MHzまでのメガソニック浸水型トランスデューサー ≪超精密高周波メガソニック浸漬洗浄型システム≫ ・ステンレス製またはプラスチック製トランスデューサー ・4"、6"、8"基板サイズに対応 ・バス・タンク式洗浄による費用対効果の向上 【当社の強み】 ティックコーポレーションは、お客様のニーズに応える製品を提供することに注力しています。長年の経験と幅広い製品ラインナップから、最適な洗浄ソリューションをご提案します。

光学レンズの精密洗浄を、ソノシスの超音波洗浄で

【特長】 ≪超精密高周波メガソニック洗浄スプレーノズル≫ ・シングル、デュアル、トリプルチャネルノズルと周波数の組み合わせによる多様な洗浄ニーズへの対応 ・400kHzから9MHzまでのメガソニック浸水型トランスデューサー ≪超精密高周波メガソニック浸漬洗浄型システム≫ ・ステンレス製またはプラスチック製トランスデューサー ・4"、6"、8"基板サイズに対応 ・バス・タンク式洗浄による費用対効果の向上 【当社の強み】 ティックコーポレーションは、お客様のニーズに応える製品を提供することに注力しています。長年の経験と幅広い製品ラインナップから、最適な洗浄ソリューションをご提案します。

CMP工程のスラリー除去に、ソノシスの超音波洗浄

【特長】 ≪超精密高周波メガソニック洗浄スプレーノズル≫ ・シングル、デュアル、トリプルチャネルノズルと周波数の組み合わせによる多様な洗浄ニーズへの対応 ・400kHzから9MHzまでのメガソニック浸水型トランスデューサー ≪超精密高周波メガソニック浸漬洗浄型システム≫ ・ステンレス製またはプラスチック製トランスデューサー ・4"、6"、8"基板サイズに対応 ・バス・タンク式洗浄による費用対効果の向上 【当社の強み】 ティックコーポレーションは、お客様のニーズに応える製品を提供することに注力しています。長年の経験と幅広い製品ラインナップから、最適な洗浄ソリューションをご提案します。

次世代メガソニック技術で最大300mmウェハーも一瞬でクリアに

モジュール型メガソニックジェネレーター（150W） - 出力電力: 150W - 出力調整範囲: 約20%～100% - 周波数: 1MHz - 電源電圧: 230VAC, 50-60Hz - 筐体: 19インチエンクロージャー（3/4U） - 寸法: 28HP; 165×185×329mm（WxHxD） - 重量: 約4.5kg - 動作温度範囲: +10℃～+40℃（結露を防ぐこと） FTFトランスデューサー - 寸法: 約164×50×34mm - 材質: PFA - トランスデューサー要素: 特殊なPZT圧電セラミック（バタフライ技術） - 変換領域: 約150×25mm - 出力: 150W / 1MHz - HFケーブル: PTFEコート同軸HFケーブル（全長3m、うち0.8mはトランスデューサーからマッチングボックスまで）

Digital Generatorは半導体、電子部品、精密機器向けメガソニック洗浄システムに対応したデジタル制御型ジェネレーター

Sonosys Digital Generator 仕様・スペック 周波数範囲：400kHz～9MHz 最大出力：35W 最小出力：0.35W デジタル制御方式採用 Modbusプロトコルによる遠隔出力制御対応 各モジュールごとの出力調整が可能 周波数およびデューティサイクル制御対応 ローカル操作・リモート操作対応 LCDパネル搭載 出力・温度・動作状態のリアルタイム表示 専用アプリによる設定・パラメータ管理・監視機能 ドライラン検知機能搭載 コンパクト設計による省スペース化 19インチラック対応モジュール構造 既存Sonosysノズルとの互換性あり 設置・保守作業を容易にするモジュラー設計

レヒラー社のノズル技術とソノシス社の超音波技術のコラボ商品

通常、細かい粒子を作る場合は、加圧が必要です。 若しくは二流体という流体を2つ使用して液体を砕く方法が主流です。 しかし粒子に速度があり過ぎると、その液体が飛散をしてしまい粗悪な環境を作ってしまうケースもあります。 それを改善する為にこの超音波スプレーノズルされる事が多々あります。 特長 ・液体を加圧せずに供給出来る為、消費電力が低い（エネルギーコストが安い） ・最小流量から流量に関係なく均一霧化 ・全流量域での粒子径がほど一定 ・目詰まりしにくく、作業場の安全性が高い ・粒子の自己速度が遅い為、塗着効率が良い ・操作周波数は45~100lHz（機種により異なる） ・平均粒子径は約20μm~40μm（注：ザウター平均ではありません）