高精密光学フィルター成膜用マグネトロンスパッタ装置
「FHR.Star.600-EOSS」は、精密な光学フィルター成膜用として開発された高機能マグネトロンスパッタ装置です。
今後大きな需要が期待されるLiDAR用途など、多層化と高再現性が求められる高機能光学フィルターの安定生産に力を発揮します。 ・シリンダー型カソードによる、ターゲット消耗による膜質変化の影響を廃した製膜 ・リアクティブイオンソース搭載による、酸化膜の安定成膜 ・最大４基のカソードの搭載による、幅広い多層膜の成膜 など、高品位な光学薄膜成膜に特化した装置です。 特徴 ■傑出した光学多層膜の再現性 ■優れた膜厚均一性 ■シリンダー型カソードとスパッタアップとの組み合わせによる 膜質の改善と欠陥の無い成膜 ■In-situモニタリングによる、成膜状態の連続監視 ■完全に自動化されたプロセス制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
装置基本仕様 ■シリンダー型カソードとターゲットの採用 ▶ターゲット寿命は長く、その寿命末期まで成膜レートの変動は極小 ■最大４基のカソードを搭載可能 ▶各種ターゲットの組み合わせによる、幅広い光学特性フィルターの生産が可能 ■リアクティブ成膜用イオンソースを搭載 ▶成膜時のイオン照射による基板上での酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 ■大型基板への成膜 ▶300mm もしくは 280×330×50 mm サイズの基盤（フラット、曲面）まで対応 ▶基盤加熱機構も組み込み可能
価格帯
納期
型番・ブランド名
FHR Star EOSSシリーズ
用途／実績例
【主要アプリケーション】 ■反射防止膜 ■バンドパスフィルター ■エッジフィルター ■ノッチフィルター ■誘電体ミラー ■ダイクロミックミラー ■ビームスプリッター ■偏光フィルター ■ウエアラブルディスプレイ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ラインアップ（2）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| FHR.Star.600-EOSS | 精密な光学フィルター成膜用として開発された高機能マグネトロンスパッタ装置 |
| FHR.Star.500-EOSS | 精密な光学フィルター成膜用として開発された高機能マグネトロンスパッタ装置 |
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この製品に関するニュース（1）
取り扱い会社
半導体・電子デバイス・光学薄膜製造装置のことなら当社へ 当社は、2016年3月に真空プロセスに関連する世界の先進技術を有する 海外メーカー数社の代理店業務ならびにこれら装置に係わる保守業務を 提供する目的で設立致しました。 当社の取扱製品・装置は、スパッタリング、高密度プラズマソースおよびパルス電源、 イオンビームエッチング・ミリング、イオンビームスパッタリング、 中性クラスターイオンビームプロセス装置、有機材料昇華精製並びに成膜装置、 液体用各種フィルター、洗浄用ブラシなど多岐にわたっています。
