半導体・MEMS・電子デバイス
半導体・MEMS・電子デバイス
半導体・MEMS・電子デバイスの製品のご紹介です。
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スパッタリング装置『Star.500-EOSS(R)』
光学用の多層膜を高均一かつ再現性に優れた成膜を行う事を目的に開発！
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高精密光学フィルター成膜用マグネトロンスパッタ装置
「FHR.Star.600-EOSS」は、精密な光学フィルター成膜用として開発された高機能マグネトロンスパッタ装置です。
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超高純度超高収率 昇華精製装置
超高純度と高収率の両立 5gの少量精製から10kgまでの量産精製に対応。省スペースで設置できる縦型設計
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マグネトロンスパッタカソード『ONYXシリーズ』
高機能・高品質なマグネトロンスパッタカソード！ 販売・修理/メンテも対応可能
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イオンビームエッチング・ミリング（IBE）装置
高レート・高信頼性を実現した生産用イオンビームミリング装置
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高レート イオンビーム・スパッタ高速成膜装置（HR-PVD）
誘電体、強磁性体成膜を高レートかつ高品位に高速成膜
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リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置
リアクティブスパッタ、合金スパッタを自在にコントロールしての成膜を実現します
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Plasma Quest Limited 企業紹介
リモートソース型イオンビームスパッタ装置 リモートプラズマソースの開発メーカー
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受託成膜サービス（高品位反応膜などの試験成膜）
新たな素材探索や成膜プロセスの構築をサポートいたします
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半導体製造装置・真空プロセス機器等 修理・延命化サービス
貴社の装置を ボルトオン、カプラーオンで延命化いたします
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生産用 リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置
高レート リアクティブ成膜 生産装置の最適解
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【半導体向け】超高純度有機材料昇華精製装置
高純度と高収率を両立。半導体材料の高純度化に貢献。
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【ディスプレイ向け】超高純度有機材料昇華精製装置
ディスプレイ製造における薄膜化を支える、高純度・高収率の昇華精製装置
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【太陽電池向け】高純度有機材料昇華精製装置
太陽電池の効率向上に貢献する、高純度有機材料の昇華精製装置
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【有機EL発光材料向け】超高純度昇華精製装置
高純度と高収率の両立を実現。発光材料の品質向上に貢献。
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【医薬品向け】超高純度有機材料昇華精製装置
高純度と高収率を両立。医薬品精製プロセスを革新。
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【香料メーカー向け】超高純度 昇華精製装置
香料の品質を向上させる、高純度・高収率の昇華精製装置
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【化粧品業界向け】超高純度昇華精製装置
化粧品原料の高純度化と高収率を両立。少量から量産まで対応。
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【電子材料向け】超高純度昇華精製装置
高純度と高収率を両立。電子材料の品質向上に貢献。
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【光学部品向け】高純度有機材料昇華精製装置
光学部品の透明度を向上させる、高純度有機材料精製装置
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【宇宙開発向け】超高純度超高収率 昇華精製装置
高純度有機材料で宇宙開発の軽量化に貢献
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【燃料電池向け】超高純度昇華精製装置
高純度触媒材料を、高収率で精製。少量から量産まで対応。
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【センサー向け】超高純度昇華精製装置
高感度センサーの性能を向上させる、超高純度有機材料精製装置
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【半導体向け】超高純度昇華精製装置
高純度と高収率を両立。半導体材料の品質向上に貢献。
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【ディスプレイ向け】超高純度昇華精製装置
高純度と高収率を両立。ディスプレイの品質向上に貢献。
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【太陽電池向け】超高純度昇華精製装置
高純度材料で太陽電池の効率向上に貢献。
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【LED向け】超高純度昇華精製装置
高純度と高収率を両立。LEDの発光効率向上に貢献。
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【光ファイバー向け】超高純度昇華精製装置
光ファイバーの低損失化に貢献する高純度材料を提供。
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【センサー向け】超高純度昇華精製装置
高純度と高収率を両立。センサーの高感度化に貢献。
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【蓄電池向け】超高純度昇華精製装置
高純度材料で蓄電池の長寿命化に貢献。
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