スパッタリング装置『Star.500-EOSS(R)』

光学用の多層膜を高均一かつ再現性に優れた成膜を行う事を目的に開発！

最終更新日 2020年02月28日

高精密光学フィルター成膜用マグネトロンスパッタ装置

「FHR.Star.600-EOSS」は、精密な光学フィルター成膜用として開発された高機能マグネトロンスパッタ装置です。

最終更新日 2024年03月18日

高純度高収率 昇華精製装置

超高純度と高収率の両立　5gの少量精製から10kgまでの量産精製に対応。省スペースで設置できる縦型設計

最終更新日 2025年05月21日

高速成膜ALD装置『FHR.STAR-400x300SALD』　

In-Situのエリプソメーターや透過型分光器に対応！独FHR社製高速成膜ALD装置

最終更新日 2024年03月11日

マグネトロンスパッタカソード『ONYXシリーズ』

高機能・高品質なマグネトロンスパッタカソード！ 　販売・修理/メンテも対応可能

最終更新日 2025年05月15日

イオンビームエッチング・ミリング（IBE）装置

高レート・高信頼性を実現した生産用イオンビームミリング装置

最終更新日 2024年03月18日

高レート イオンビーム・スパッタ高速成膜装置（HR-PVD）

誘電体、強磁性体成膜を高レートかつ高品位に高速成膜

最終更新日 2024年09月02日

リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

リアクティブスパッタ、合金スパッタを自在にコントロールしての成膜を実現します

最終更新日 2025年05月20日

Plasma Quest Limited 企業紹介

リモートソース型イオンビームスパッタ装置　リモートプラズマソースの開発メーカー

最終更新日 2024年03月21日

受託成膜サービス（高品位反応膜などの試験成膜）

新たな素材探索や成膜プロセスの構築をサポートいたします

最終更新日 2025年05月20日

装置修理・延命化サービス

貴社の装置を ボルトオン、カプラーオンで延命化いたします

最終更新日 2025年05月22日