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精密部品洗浄装置
専用バスケットによるDip処理！用途に合わせ製作が可能な精密部品洗浄装置のご紹介
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薬液供給装置
装置組込み式制御盤を搭載！薬品メーカーの原液ポリタンク又は、CCSSからの直接供給が可能
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有機溶剤洗浄装置
装置本体とポンプユニットと制御盤で構成！薬液供給方法はCCSS方式の有機溶剤洗浄装置
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ミスト除菌装置『kolleii GDK-500』
人感センサーで自動噴霧！アラート機能付きのマイクロミストシャワーをご紹介！
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【キャンペーン】ミスト除菌装置 kolleii GDK-500
先着10台限定で初月無償貸出！抗ウイルス・抗菌・消臭を目的としたミストシャワーユニット
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各種製造装置
半導体製造装置やLED・OLED等の洗浄装置、空気清浄装置など幅広くラインナップ
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非接触搬送洗浄装置『DNCC-320』
0.5t以下の薄板軽量基板の搬送も可能！皮脂の指紋やガラスカレット、油性マジックも洗浄できる次世代型洗浄装置
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高圧パルスジェット洗浄機『DPC-700』
半導体洗浄装置メーカーだから実現できる洗浄効果！サブミクロンパーティクル除去実績で新分野に挑戦
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BOX洗浄装置『DBC-1700』
温水洗浄、すすぎ、水切りを同一槽内で連続処理！あらゆる形状・サイズの容器も洗浄可能
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空中搬送洗浄装置『DACC-061-3L』
端面をローラ駆動させ川幅方向のサイズ変更も可能とした次世代型洗浄装置
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薬液スクラブスピン洗浄装置
シングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研究開発や小ロット生産に対応
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1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機
省スペースで研究開発や小ロット生産に対応。φ２”~φ12”ウェハのスクラブ洗浄と薬液スピン洗浄テストをお受け出来る環境を来春まで
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ウェハ端面鏡面加工装置（エッジポリッシュ）
スラリー不使用 濾過水、純水を媒体として鏡面研磨、粗研磨から洗浄まで行う研磨装置（エッジポリッシュ）
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精密部品洗浄装置（脱脂）
HDD用モーター部品（HUB・ケース等）の脱脂洗浄装置 構成例：洗剤＋US（脱脂洗浄）→純水リンス＋US→温風乾燥→真空乾燥
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Siナゲット洗浄装置
Siナゲット洗浄装置 専用バスケットで自動搬送 化学研磨・酸切・高品位水洗から乾燥まで バスケットの揺動により洗浄効率を向上
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300ｍｍカセットレス洗浄装置
ファイナルポリッシュ後の化学研磨工程で使用 ／ 50枚を一括処理 ／ 19nμm/5個の高清浄度を達成
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FOUP洗浄装置
洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄！手作業よりも安定した洗浄効果が得られます。
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FOSB洗浄装置
洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄！手作業よりも安定した洗浄効果が得られます
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ボックス洗浄装置
洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄！手作業よりも安定した洗浄効果が得られます
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キャリア（カセット）ボックス洗浄装置
洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄！手作業よりも安定した洗浄効果が得られます
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高圧断続スプレー「DP-Gun」
各種マスクやガラス、ウェハー研磨後の洗浄に！1秒間に30回のノズル開閉が可能なため、少ない水量で繰り返しの衝撃を与えます。
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高圧パルスジェット DP-Gun マスク・ガラス・ウェハー洗浄に
同じ圧力なら水の使用量が1/3、同じ流量なら圧力が3倍、少ない流量で繰返しの衝撃。マスクやガラス洗浄ウェハ研磨後スラリー除去に。
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乾式散布装置「微粒子対応 分散・散布装置」
数μmから数百nmの粒子を摩擦帯電により分散、均一に散布する、乾式散布装置です。帯電量フィードバック制御で安定した散布を実現！
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乾式散布装置「卓上型 簡易散布装置」
数μmから数百nmの粒子を摩擦帯電により分散、均一に散布する、乾式散布装置です。帯電量フィードバック制御で安定した散布を実現！
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乾式散布装置「ドライスペーサー散布装置」
数百nm〜数十μmの粒子を摩擦帯電により分散、均一に散布する、散布装置です。帯電量フィードバック制御で安定した散布を実現します。
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シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」
少量生産、研究開発向け装置 |φ２”~φ12”ウェハのスクラブ洗浄と薬液スピン洗浄テストをお受け出来る環境を来春までに準備中！
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LT・SiC等2〜6インチ小径ウェハ両面同時薬液スクラブ洗浄装置
ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液洗浄装置！薬液によりブラシ洗浄との組合せにも対応です。
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小径ウェハ（LT・SiC等2〜6インチ）両面同時スクラブ洗浄装置
ワーク表裏面に触れずに搬送・乾燥が可能なスクラブ洗浄装置！独自機構の表裏・側面の同時洗浄に加え超音波シャワー等の組合せも対応
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ウエハ洗浄装置「両面ブラシ洗浄装置（研究開発用）」
ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。
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ウエハ洗浄装置「両面スクラブ洗浄装置（研究開発用）」
ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。
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