洗浄装置 WET CLEANER

洗浄装置 WET CLEANER
ウェハ・ガラス・各種材料に対して、高圧断続スプレー・ニ流体・ブラシ・ 超音波・薬液等を組合せ、 研磨後の粗洗浄から精密洗浄、各種洗浄装置の設計から製造、研究開発用のコンパクトな1台 からオフライン・インラインの量産装置まで、運用目的とご予算に合わてご提案致します。洗浄プロセスについてもご相談下さい。
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シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」
1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置!洗浄方法の組合せにより量産から研究開発用途まで対応します。
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省スペース型「スピン洗浄装置(多目的洗浄タイプ)」
1チャンバー型多目的スクラブ洗浄。1チャンバーで異物、金属汚染を取り除くことが可能!省スペースなので研究開発に好適
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ウエハー洗浄装置「両面ブラシ洗浄装置(量産型)」
ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。
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ウエハ洗浄装置「両面スクラブ洗浄装置(研究開発用)」
ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。
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ウエハ洗浄装置「両面ブラシ洗浄装置(研究開発用)」
ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。
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小径ウェハ(LT・SiC等2〜6インチ)両面同時スクラブ洗浄装置
ワーク表裏面に触れずに搬送・乾燥が可能なスクラブ洗浄装置!独自機構の表裏・側面の同時洗浄に加え超音波シャワー等の組合せも対応
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LT・SiC等2〜6インチ小径ウェハ両面同時薬液スクラブ洗浄装置
ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液洗浄装置!薬液によりブラシ洗浄との組合せにも対応です。
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キャリア(カセット)ボックス洗浄装置
洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄!手作業よりも安定した洗浄効果が得られます
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ボックス洗浄装置
洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄!手作業よりも安定した洗浄効果が得られます
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FOSB洗浄装置
洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄!手作業よりも安定した洗浄効果が得られます
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FOUP洗浄装置
洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄!手作業よりも安定した洗浄効果が得られます。
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Siナゲット洗浄装置
Siナゲット洗浄装置 専用バスケットで自動搬送 化学研磨・酸切・高品位水洗から乾燥まで バスケットの揺動により洗浄効率を向上
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精密部品洗浄装置(脱脂)
HDD用モーター部品(HUB・ケース等)の脱脂洗浄装置 構成例:洗剤+US(脱脂洗浄)→純水リンス+US→温風乾燥→真空乾燥
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