シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」
1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の組合せにより量産から研究開発用途まで対応します。
基本情報
＜ 洗浄工程 ＞ ・ 界面活性剤・純粋スクラブ洗浄 ・ 薬液スプレー ・ メガソニックスポットシャワー ・ スピン乾燥 ＜ 洗浄対象物 ＞ 各種ウェハ ・ Si(シリコン） ・ 石英 ・ 酸化物 ・ 化合物等 ＜ 対応ウエハ口径 ＞ ・ φ2”～φ4” ・ φ6”～φ8” ＜ その他 ＞ 単機能のスクラブ洗浄装置、薬液の使用、 ドライ・ウェットのローダー・アンローダー付タイプ、 複数チャンバータイプなど、ご予算・ご要望に応じて対応致します。 洗浄方法についてのご相談など、お気軽にご相談ください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■各種ウェハー洗浄
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取り扱い会社
EXTENSIVE VISION ON SYSTEM （幅広い視野に立ったシステム構築） を目的として、独自性の高い製品を作るという意味から名づけられた社名です。 現在の技術革新には目覚ましいものがあり、時代の要求は常に高度なものになっております。熟成化された今の装置産業に革命を起こすべく、常に他社との差別化をなした装置の提案を行い、産業界に貢献する会社であることが我々ゼビオスの使命だと考えております。
