洗浄装置 WET CLEANER
洗浄装置 WET CLEANER
ウェハ・ガラス・各種材料に対して、高圧断続スプレー・ニ流体・ブラシ・ 超音波・薬液等を組合せ、 研磨後の粗洗浄から精密洗浄、各種洗浄装置の設計から製造、研究開発用のコンパクトな1台 からオフライン・インラインの量産装置まで、運用目的とご予算に合わてご提案致します。洗浄プロセスについてもご相談下さい。
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シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」
少量生産、研究開発向け装置 |φ2”~φ12”ウェハのスクラブ洗浄と薬液スピン洗浄テストをお受け出来る環境を来春までに準備中!
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省スペース型「スピン洗浄装置(多目的洗浄タイプ)」
1チャンバー型多目的スクラブ洗浄。1チャンバーで異物、金属汚染を取り除くことが可能!省スペースなので研究開発に好適
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ウエハー洗浄装置「両面ブラシ洗浄装置(量産型)」
ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。
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ウエハ洗浄装置「両面スクラブ洗浄装置(研究開発用)」
ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。
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ウエハ洗浄装置「両面ブラシ洗浄装置(研究開発用)」
ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。
最終更新日
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小径ウェハ(LT・SiC等2〜6インチ)両面同時スクラブ洗浄装置
ワーク表裏面に触れずに搬送・乾燥が可能なスクラブ洗浄装置!独自機構の表裏・側面の同時洗浄に加え超音波シャワー等の組合せも対応
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LT・SiC等2〜6インチ小径ウェハ両面同時薬液スクラブ洗浄装置
ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液洗浄装置!薬液によりブラシ洗浄との組合せにも対応です。
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キャリア(カセット)ボックス洗浄装置
洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄!手作業よりも安定した洗浄効果が得られます
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ボックス洗浄装置
洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄!手作業よりも安定した洗浄効果が得られます
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FOSB洗浄装置
洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄!手作業よりも安定した洗浄効果が得られます
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FOUP洗浄装置
洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄!手作業よりも安定した洗浄効果が得られます。
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Siナゲット洗浄装置
Siナゲット洗浄装置 専用バスケットで自動搬送 化学研磨・酸切・高品位水洗から乾燥まで バスケットの揺動により洗浄効率を向上
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精密部品洗浄装置(脱脂)
HDD用モーター部品(HUB・ケース等)の脱脂洗浄装置 構成例:洗剤+US(脱脂洗浄)→純水リンス+US→温風乾燥→真空乾燥
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空中搬送洗浄装置『DACC-061-3L』
端面をローラ駆動させ川幅方向のサイズ変更も可能とした次世代型洗浄装置
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BOX洗浄装置『DBC-1700』
温水洗浄、すすぎ、水切りを同一槽内で連続処理!あらゆる形状・サイズの容器も洗浄可能
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各種製造装置
半導体製造装置やLED・OLED等の洗浄装置、空気清浄装置など幅広くラインナップ
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非接触搬送洗浄装置『DNCC-320』
0.5t以下の薄板軽量基板の搬送も可能!皮脂の指紋やガラスカレット、油性マジックも洗浄できる次世代型洗浄装置
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高圧パルスジェット洗浄機『DPC-700』
半導体洗浄装置メーカーだから実現できる洗浄効果!サブミクロンパーティクル除去実績で新分野に挑戦
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有機溶剤洗浄装置
装置本体とポンプユニットと制御盤で構成!薬液供給方法はCCSS方式の有機溶剤洗浄装置
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精密部品洗浄装置
専用バスケットによるDip処理!用途に合わせ製作が可能な精密部品洗浄装置のご紹介
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真空乾燥装置
乾燥炉内のワーク設置台を専用設計!前面扉は片開きで開口が広く部品の出し入れが容易
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磁気ヘッド洗浄装置
リンス乾燥は純水ディップ、QDR、純水シャワー、スピンドライヤを1槽に組み込んだ複合リンス乾燥処理!
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ユタカドライ乾燥装置
ウォーターマーク発生なし!表面張力の原理を応用しスロー引き上げで乾燥させる装置
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マスクガラス洗浄装置
passlineは400mm!SPMと中性洗剤+USにより洗浄し、温水引き上げで乾燥をします
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Siナゲット洗浄装置
フッ酸、硝酸を使用!洗浄バスケットを揺動して洗浄効率を向上しています!
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PDP向けカセット洗浄装置
カセットに合わせ設計・製作!純水高圧洗浄+温風乾燥を行う自動洗浄装置
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OLED用処理装置
処理速度は0.6~5.0m/min(可変)!有機EL製造ラインの洗浄装置を提供しています
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IR乾燥炉
処理速度は75mm/s!ガラス基板をクリーン遠赤外線ヒーターで加熱乾燥します
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300mmウェハカセットレス洗浄装置
65nμm/5個の高清浄度を達成!25枚のWfの隙間に25枚を入れハーフピッチにし50枚を一括処理
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LT・SiC等2〜6インチ小径ウェハ両面同時薬液スクラブ洗浄装置
ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液洗浄装置!薬液によりブラシ洗浄との組合せにも対応です。
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