キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社 公式サイト

コールドカソードピラニゲージ『M-361CP』

部品交換のみの容易なメンテナンス!1台2役でシステムのコストダウンや管理負荷低減に貢献

『M-361CP』は、大気圧~中真空を測定するピラニゲージと、 高真空~超高真空を測定するコールドカソードゲージを 組み合わせたコンビネーションゲージです。 1台で広い圧力領域を測定可能で、1台2役でシステムの コストダウンや管理負荷低減に貢献。 また、部品交換のみの容易なメンテナンスです。 【特長】 ■測定安定性の改善  ・新開発の放電アシスト機能によりピラニとコールドカソードの切替不良、未放電による測定停止を低減 ■優れた大気圧検出を実現 (当社比)  ・本器搭載のピラニゲージは大気圧付近の安定性・再現性が向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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基本情報

【仕様(抜粋)】 ■入力電圧:DC+15~30V ■消費電力:2.4W ■セットポイント:2接点出力(DC30V 1A) ■入出力コネクタ:D-sub9ピン ■最大ケーブル長:300m(1mm2)対応可能 ■使用温度範囲:5~55℃ ■保存温度範囲:-20~70℃(非動作時) ■センサー型名:CP2 ■外形寸法(mm):50×50×110(継ぎ手NW25仕様) ■フランジ形状:NW25、NW40、φ70ICF ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯

納期

用途/実績例

【用途】 ■蒸着、スパッタリング、イオン注入、MBE ■SEM、SIMS、AES、XPS、表面/ガス/質量分析 ■アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接 ■加速器、サイクロトロン ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

取り扱い会社

キヤノンアネルバは、1967年の設立以来、真空薄膜形成装置や 真空コンポーネントの開発生産会社として、高度な技術力が 求められる超高真空分野で研鑽を続けてまいりました。 また、グローバルに事業展開する企業として、キヤノングループが 掲げる「共生」の企業理念のもと、国際社会の発展に貢献することを 目指してまいります。 今後も、確かな技術力に基づいた 高付加価値製品作りに邁進し、 エレクトロニクスの発展の一役を担ってまいります。

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