真空計
真空計
大気圧から超高真空まで測定する幅広い真空計をラインアップ。省エネ、省スペース、省配線も含めてご提案させて頂きます。
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イオンゲージ『M-311HG』
再現性・リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能！真空計として優れた特長を持っています
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クリスタルイオンゲージ『M-336MX』
高精度、低真空領域において優れた再現性！大気圧から超高真空まで広い圧力領域をこの1台で測定
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コールドカソードピラニゲージ『M-361CP』
部品交換のみの容易なメンテナンス！1台2役でシステムのコストダウンや管理負荷低減に貢献
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コールドカソードゲージ『M-370CG』
優れた測定安定性！未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを低減します
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ピラニゲージ（Niフィラメント）『M-351PG』
再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし！ハードプロセス装置に対応したモデル
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ピラニゲージ『M-350PG』
低・中真空領域の測定用や各種システム搭載用など！用途の広いピラニ真空計
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キャパシタンスゲージ『M-342DG』
質量は200gと軽量でサイズもコンパクト！外部環境から受ける影響を最小限に抑えました
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ワイドレンジ電離真空計『M-431HG』
圧力表示はデジタル、測定レンジ自動切換！ワイドレンジ電離真空計
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ワイドレンジ電離真空計『M-833HG』
高真空～超高真空装置搭載に好適！最大4ヶのオプションボード取付け可能で機能拡張性に優れています
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電離真空計『M-723HG、M-823HG、M-923HG』
豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能！電源電圧は特注も対応いたします
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表示器（1ch/3chタイプ）『M-601GC/603GC』
RS232Cインターフェース標準装備！優れた操作性で見やすい3タイプ表示が可能
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軽量でコンパクト！隔膜真空計『キャパシタンスゲージ』
圧力センサ部に小型シリコンMEMSチップを採用。外部環境からの影響を最小限に抑え、高精度で安定した絶対圧力を測定可能。
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真空計『ピラニゲージ』
低・中真空領域の測定に好適！スタンダードタイプ、セットポイント付タイプなどをご用意
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測定球『ミニチュアゲージ』
取付場所の選定が容易！プロセス圧力(1Pa台が測定可)までの圧力計測が1つのゲージで行うことが可能
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キヤノンアネルバ株式会社 会社案内
社会の発展に貢献！超真空技術を用いた高付加価値製品を提供
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【高コスパ】キャパシタンスゲージ/コールドカソードピラニゲージ
各種真空システム搭載に好適な真空計
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