ピラニゲージ（Niフィラメント）『M-351PG』 | キヤノンアネルバ - Powered by イプロス

ピラニゲージ（Niフィラメント）『M-351PG』

再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし！ハードプロセス装置に対応したモデル

ピラニゲージ『M-351PG』はNiフィラメントを採用し、耐蝕性を向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし。半導体や電子デバイス製造装置、食品・医薬品製造装置などさまざまな装置にお使いいただけます。【特長】 ■耐食性の向上（Niフィラメント採用など） ■再現性がよく低価格 ■5×10^-2Paから大気圧 ■取付方向の制約がない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://anelva.canon/business/component/vac_detail…

基本情報

【ラインアップ】 ■M-351PG-SP/N16 ■M-351PG-SP/N25 ■MP2/N16 ■MP2/N25 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯

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納期

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用途／実績例

【用途】 ■半導体・電子デバイス製造装置、ドライエッチング装置、　プラズマCVD装置、LD-CVD装置 ■食品・医薬品製造装置、真空凍結乾燥、真空蒸留装置、滅菌装置など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

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キヤノンアネルバは、1967年の設立以来、真空薄膜形成装置や真空コンポーネントの開発生産会社として、高度な技術力が求められる超高真空分野で研鑽を続けてまいりました。また、グローバルに事業展開する企業として、キヤノングループが掲げる「共生」の企業理念のもと、国際社会の発展に貢献することを目指してまいります。今後も、確かな技術力に基づいた高付加価値製品作りに邁進し、エレクトロニクスの発展の一役を担ってまいります。

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