真空ポンプ
真空ポンプ
長年の研究と最新の技術により開発・製品化されたもので、お客さまのすべてのニーズにお応えできるように、低真空から超高真空まで、各種のポンプならびに関連部品を取り揃えております。
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イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置『P-500』
新設計により視認性と機能アップ!自動化装置・遠隔操作用装置に適しています
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真空ポンプ『イオンポンプ・ノーブルポンプ』
無振動・無騒音!被排気系を汚染する心配が無いため夜間の無人運転にも安心してご利用可能!
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極高真空対応スパッタイオンポンプ『エクセルポンプ』
40%のサイズダウン!組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバーにより高効率を実現
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チタンサブリメーションポンプ・タイバックポンプ
オイルフリーの超高真空が実現可能!大型ポンプ単体で用いる場合に比べ極めて経済的です
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真空ポンプ『コンビネーションポンプ』
排気速度1L/sあたりの価格はイオンポンプに比べて約1/2~1/3!水もれの心配はありません
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POWERシリーズ 高性能クライオポンプ(小型)
吸気口径8~12インチの小型タイプ!ヒータレスで安全な高速再生を実現しました
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POWER Ecoシリーズ 高性能省エネルギー型クライオポンプ
小型に加え中・大型もラインアップ!性能・省エネルギー両面で大きな優位性を持っています
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真空ポンプ『フォアライントラップ』
簡単に油蒸気の逆流を防止することが可能!油分子を効率よく吸着します
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キヤノンアネルバ株式会社 会社案内
社会の発展に貢献!超真空技術を用いた高付加価値製品を提供
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