POWERシリーズ 高性能クライオポンプ(小型)
吸気口径8～12インチの小型タイプ！ヒータレスで安全な高速再生を実現しました
基本情報
【その他の特長】 ■ヒータを使用していないので、火花や放電、漏電などの心配はない ■マルチ運転ポンプへのアンバランスな熱負荷侵入に対する耐性を大幅 に向上 ■熱負荷に強い、より安定した運転が可能 ■12インチクライオポンプでもトリプル運転が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体製造装置(スパッタ装置、イオン注入装置) ■電子部品製造装置 ■真空蒸着装置 ■真空炉、スペースチャンバ ■加速器 ■各種高真空装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
取り扱い会社
キヤノンアネルバは、1967年の設立以来、真空薄膜形成装置や 真空コンポーネントの開発生産会社として、高度な技術力が 求められる超高真空分野で研鑽を続けてまいりました。 また、グローバルに事業展開する企業として、キヤノングループが 掲げる「共生」の企業理念のもと、国際社会の発展に貢献することを 目指してまいります。 今後も、確かな技術力に基づいた 高付加価値製品作りに邁進し、 エレクトロニクスの発展の一役を担ってまいります。
