プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』

真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲（1～80amu）かつ高感度で分圧測定を実現。

最終更新日 2023年01月24日

四重極型質量分析計『M-101/201QA-TDM』

高度な分析に対応する優れた基本性能！低ガス放出のイオン源を採用したトランスデューサータイプ

最終更新日 2023年01月20日

四重極型質量分析計（高速測定/高感度測定）

2種類のイオン源から選択可能！高速測定/高感度測定が可能な四重極型質量分析計

最終更新日 2023年01月20日

コンパクト型ガス分析システム『Dシリーズ』

パソコン制御による容易な測定が可能！四重極型質量分析計の応用技術製品

最終更新日 2023年01月20日

コンパクト型ガス分析システム『Cシリーズ』

四重極型質量分析計は4機種から選択可能！省スペースで手軽な分析システム

最終更新日 2023年01月20日

キヤノンアネルバ株式会社　会社案内

社会の発展に貢献！超真空技術を用いた高付加価値製品を提供

最終更新日 2022年05月18日

オーダーメイド ガス分析システム

多彩な分野において、ものづくりの研究開発・品質管理に貢献中！

最終更新日 2024年10月29日