コンパクト型ガス分析システム『Cシリーズ』
四重極型質量分析計は4機種から選択可能！省スペースで手軽な分析システム
『Cシリーズ』は、多様なガス分析のご用途への対応をはかりながら、 シンプル＆コンパクトにまとめたガス分析システムです。 基本構成（排気系＋マスフィルタ）を選択、さらに各種ご用途を想定し、 あらかじめ設定されている推奨オプション類を選択・付加することによって、 お客様のご用途に適したシステム構成とすることが可能。 シンプルでありながら、基本的なインターロック機能を標準装備し、 安心してご使用いただけます。 【特長】 ■フレキシブルにカスタマイズが可能 ■W480mm×D500mmの省スペースに設置が可能 ■シンプルでありながら、基本的なインターロック機能を標準装備 ■後付けのガス分析用排気ユニットとして、分析管の無い構成でも注文可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【ラインアップ】 ■M-070GA-CRFY ■M-101GA-CRFY ■M-101GA-CRMY ■M-201GA-CRMY ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■研究開発用途ガス測定 ・炉内ガス分析、モニタリング 真空熱処理炉、真空浸炭炉、真空浸窒炉、金属溶解炉、バイオガス化炉、 電子ビーム式溶解炉（EB炉）、ウエハ引上炉 など ・昇温脱離ガス分析 ・触媒反応ガス分析 ■プロセス装置用途ガス分析 ・真空装置のプロセスガス測定 ・真空装置の残留ガス測定/リーク検出 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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取り扱い会社
キヤノンアネルバは、1967年の設立以来、真空薄膜形成装置や 真空コンポーネントの開発生産会社として、高度な技術力が 求められる超高真空分野で研鑽を続けてまいりました。 また、グローバルに事業展開する企業として、キヤノングループが 掲げる「共生」の企業理念のもと、国際社会の発展に貢献することを 目指してまいります。 今後も、確かな技術力に基づいた 高付加価値製品作りに邁進し、 エレクトロニクスの発展の一役を担ってまいります。
